Shenzhen Guangbo Luwei Innovation Technology Co., Ltd. · العلامة: Guangbo Technology عقدة هونغ كونغ · دون تسجيل ICP · متاح عالميًا

Products & Specifications

كل جهاز بصورته الحقيقية ومواصفاته الكاملة في صفحة واحدة

تجمع هذه الصفحة ما تقدمه Guangbo Technology من ماكينات التشغيل فائق الدقة وأنظمة الليزر والطباعة الحجرية والمكونات الأساسية وأجهزة القياس الدقيقة. ولكل طراز صورة للماكينة أو المكوّن ومؤشراته الأساسية وجدول المواصفات الفنية الصادر من المصنع. القيم مأخوذة من الملفات الفنية الداخلية، وللملحق التعاقدي الأولوية عند التسليم.

01 · الخراطة فائقة الدقة

الخراطة فائقة الدقة

من الماكينات المكتبية إلى خراطة أوجه بقطر 3,5 متر، ومن الركائز المسطحة إلى الأسطوانات الطويلة: تغطي الخراطة بألماس أحادي النقطة جميع أنواع الأسطح فائقة الدقة، الدورانية وغير الدورانية.

GPZ100Nمخرطة ألماس أحادي النقطة للفتحات الصغيرة

GPZ100N 小口径单点金刚石车床
ماكينة GPZ100N الكاملة (مخرطة وفارزة ومجلخة مكتبية)

مخرطة ألماس فائقة الدقة بحجم مكتبي تجمع الخراطة والتفريز والتجليخ. مصممة لعدسات الأشعة تحت الحمراء والمرايا البصرية والقوالب الدقيقة بفتحة φ80–100 مم: خراطة مرآوية وتفريز وتجليخ في تثبيت واحد. مناسبة للمختبرات وخطوط الإنتاج الصغيرة.

Working diameter80–100mm
Surface roughnessRa ≤2nm
Form accuracyPV ≤0.02μm
Spindle speed1–100,000rpm
  • Infrared optics
  • الطيران والفضاء
  • Consumer electronics
  • Precision molds
  • Turn-mill-grind integrated
Full technical specifications
Working diameter80~100mm
Surface roughnessRa ≤ 2nm
Form accuracyPV ≤ 0.02μm
Spindle speed1~100000rpm

GPD200Nمخرطة ألماس أحادي النقطة بمغزل عمودي للأوجه

GPD200N 立式端面单点金刚石车床
ماكينة GPD200N العمودية لخراطة الأسطح

مغزل عمودي مع تثبيت القطعة بوجهها إلى أعلى، لخراطة نانومترية للأوجه والأسطح المنحنية لقطع φ10–200 مم. قاعدة من الجرانيت، ومسطرة نانومترية بحلقة مغلقة كاملة، وعزل اهتزازات فعّال، وتحكم حراري دقيق؛ ومحوران X/Z أو تداخل ثلاثة محاور X/Z/B. يثبّت المحور B نقطة القطع ويقلل كثيرًا تأثير خطأ قوس الأداة على الشكل — مناسب للأسطح اللابكروية الحادة.

Max working diameterφ10–200mm
Radial / axial runout< 0.05μm
Surface roughnessRa < 10nm
Form accuracyPV < 0.3μm
  • Vertical face-turning integration
  • Three-axis fixed-point turning
  • Sub-nanometer dynamic accuracy
  • Cost 1/3–1/2 of imported equivalents
Full technical specifications
GPD200N vertical face-turning SPDT lathe — technical specifications
ParameterValue
Max working diameterφ10–200mm
Spindle rotational accuracyRadial / axial runout < 0.05 μm
Surface roughnessRa < 10nm
Form accuracyPV < 0.3μm
Axis configurationX/Z two axes or X/Z/B three axes
Machine configurationVertical face-turning structure, vertical spindle layout

GPC12100Hمخرطة ألماس مستوية رباعية المحاور · ماكينة حفر المحزوزات النانوية

GPC12100H 平面四轴单点金刚石车床 · 纳米光栅刻划机
ماكينة GPC12100H الكاملة (رمز الطراز SPDT-4AX)

محركات خطية مباشرة على X/Y/Z ومحرك عزم بتقسيم متصل على C تحفر محزوزات ومصفوفات دقيقة بدورة 140–180 ميكرومتر وعمق 20–50 ميكرومتر مباشرة في ألواح نيكل 1060×940 مم. تُجمع 45 خلية بقياس 20×20 مم دون فواصل بتداخل رباعي المحاور لإلغاء الخطأ المتراكم، فتُنجز مرآة بمستوى بصري في تمريرة واحدة دون تلميع لاحق؛ وبعد تعويض الاستقامة من الرتبة الأولى والثانية تتحسن جبهة الموجة المنعرجة إلى نحو 83 نانومتر PV.

Travel X / Y / Z1200 / 1000 / 150mm
Positioning accuracy±0.1 μm (Z axis ±0.05 μm)
Max substrate size1060×940mm
Form accuracyPV ≤0.2μm
  • Security-printing gratings
  • Spectrometer gratings
  • AR waveguide lenses
  • Microlens arrays
  • Diffractive optical elements (DOE)
Full technical specifications
GPC12100H — technical specifications
ItemSpecification
X-axis travel1200 mm, linear-motor driven, positioning accuracy ±0.1 μm
Y-axis travel1000 mm, linear-motor driven, positioning accuracy ±0.1 μm
Z-axis travel150 mm, linear-motor driven, positioning accuracy ±0.05 μm
C axisContinuous rotation, torque motor, positioning accuracy ±0.5″
Max feed rateX/Y 5000mm/min、Z 2000mm/min、C 500°/min
Minimum command unitLinear axis 0.0001 mm (0.1 μm), rotary axis 0.0001°
Interpolation cycle1ms
FieldbusEtherCAT, 250 μs cycle
Control architectureIndustrial PC + Omron or Mitsubishi PLC + linear-motor drives, three-tier distributed
WorktableGrade 00 granite, flatness ≤2 μm/m, vacuum chuck 1060 x 940 mm
ToolingNatural single-crystal diamond arc-edge tool, edge radius ≤50 nm
Cooling and lubricationMQL oil-mist cooling plus thermostatted oil cooling for spindle and guides
EnclosureFully enclosed splash guard
OptionsThermostatted humidity-controlled enclosure (20±0.5 °C, 45%±5% RH); femtosecond/picosecond dual-mode laser unit

GPH1200Nماكينة حفر أسطوانات أفقية فائقة الدقة

GPH1200N 卧式辊雕超精密车床
مخرطة أفقية لنقش الأسطوانات (معالجة الأسطوانات الطويلة)

ماكينة أفقية مخصصة للأسطوانات ذات نسبة طول إلى قطر كبيرة: طول التشغيل 1200 مم، والقطر Φ300 مم، ووزن القطعة حتى 1 طن. تُجري خراطة مرآوية لأسطوانات الطبع الميكروي والنانوي وأسطوانات المحزوزات الرئيسية وأسطوانات الطبع الأمني في تثبيت واحد على كامل الطول، دون آثار تقطيع مرحلي.

Working length1200mm
Working diameterΦ300mm
Workpiece weight≤1t
Surface roughnessRa ≤5nm
  • Imprint rollers
  • Grating master rollers
  • Security imprint rollers
  • High-aspect-ratio rollers

GP500Nمخرطة ألماس أحادي النقطة أفقية فائقة الدقة

GP500N 超精密卧式单点金刚石车床
مخرطة أفقية فائقة الدقة (محورا X/Z، قاعدة من الجرانيت الطبيعي)

مخرطة أفقية فائقة الدقة للأسطح المستوية والكروية متوسطة وكبيرة القطر حتى Φ320 مم. محركات خطية مباشرة X/Z وأدلة هيدروستاتيكية أو هوائية ومسطرة نانومترية بحلقة مغلقة تحفظ انحراف المغزل المحوري والشعاعي عند ≤15 نانومتر.

Max working diameterΦ320mm
Surface roughnessRa < 1nm
X / Z positioning accuracy≤0.1μm
Spindle runout≤15nm
  • Large-aperture flats
  • Spherical and aspheric
  • Infrared windows

GP15B100Hمخرطة نانومترية فائقة الدقة بحجم مكتبي

GP15B100H 桌面级超精密纳米车床
مخرطة GP15B فائقة الدقة المكتبية

حجم مكتبي بدقة مختبرية. تشغل الماكينة أقل من طاولة مختبر وتناسب تطوير النماذج والتحقق من العمليات والخراطة النانومترية للدفعات الصغيرة؛ ومتطلباتها المنخفضة للمساحة والمرافق تتيح نشرها سريعًا في مختبرات الجامعات والمعاهد.

Machine formatBenchtop
Machining accuracyNanometer-level surface
Typical usePrototyping / process validation
  • Benchtop
  • Laboratory deployment
  • Prototyping

GP3500مخرطة عمودية متخصصة فائقة الدقة بنظام CNC

منصة خراطة أوجه بفئة 3,5 متر وبنفس البنية العمودية للطراز GPD200N: مغزل عمودي والقطعة بوجهها إلى أعلى، لتغطية الخراطة النانومترية لأوجه البصريات الكبيرة وقطع لوحات العرض والقوالب الكبيرة.

Capacity3.5 m class diameter
StructureVertical face turning
Same-platform modelGPD200N (φ10–200 mm)
  • Large-diameter faces
  • Display panels
  • Large molds

02 · التجليخ فائق الدقة

التجليخ فائق الدقة

تجليخ مسطح بمغزل عمودي وطاولة دوارة، وترقيق الرقائق: تجليخ مرآوي للمواد الصلبة الهشة وترقيق ركائز أشباه الموصلات.

GM3207Bماكينة تجليخ مسطح فائقة الدقة بمغزل عمودي وطاولة دوارة (ماكينة تجليخ هوائية)

GM3207B 超精密立轴转台平面研磨机(气浮磨床)
مجلخة GM3207B الهوائية، ماكينة كاملة

ماكينة تجليخ مسطح فائقة الدقة بمغزل عمودي وطاولة دوارة: انحراف الطاولة المحوري 0,000050 مم، وسطح مجلوخ Ra 0,05 ميكرومتر، ودقة دوران الطاولة 0,05 ميكرومتر (50 نانومتر). تناسب التجليخ المرآوي للمواد الصلبة الهشة — السيراميك والزجاج والياقوت والكاربيد الأسمنتي وركائز أشباه الموصلات — بسرعة طاولة متغيرة بلا درجات من 0,000001 إلى 30,000 دورة/دقيقة وأحمال 0,1–500 كغ.

Max grinding sizeφ320–350mm
Rotational accuracy0.05μm(50nm)
Surface roughnessRa 0.05μm
Table axial runout0.000050mm
  • Hard and brittle materials
  • Ceramics / glass / sapphire
  • Semiconductor substrates
  • Mirror grinding
Full technical specifications
GM3207B — main technical specifications
ItemSpecification
Max grinding size (diameter x height)320~350mm
Worktable swing diameter320mm
Surface roughnessRa 0.05μm
Rotational accuracy0.05 μm (50 nm)
Parallelism of machined face to base0.01mm/500mm
Worktable spindle speed0.000001–30,000 r/min (stepless)
Turntable load0.1~500kg
Direct-drive motor power (Y55M-4)4 kW (three-phase induction)
Air pump pressure0.3–0.6 MPa (3-stage filtration)
Worktable feed rate (optional vertical mode)0.5 m/min (servo controlled)
Machine dimensions1200 (L) x 800 (W) x 760 (H) mm
Total weight500kg
Total power4kW
GM3207B — factory accuracy inspection record
ItemSpecification
Worktable flatness0.001 mm (concave only)
Worktable axial runout0.000050mm
Grinding-spindle axial play0.001mm
Grinding-spindle centering runout0.001mm
Parallelism of finished test piece to its base0.001 mm (test piece 100 ≤ d ≤ D/10, h ≥ 60; sapphire, unhardened)
GM3207B — operating environment
ItemSpecification
Power supply380V±10%、50Hz±3%
Total power4kW
Ambient temperature5~60℃
Ambient humidity30%~65%
Noise level≤30dB

GM3207B-ICتجهيز مخصص لترقيق الرقائق (قابل للتخصيص)

GM3207B-IC 晶圆减薄专用配置(可定制)
Wafer thinning on site

على أساس GM3207B مع واجهة نظيفة مخصصة للدوائر المتكاملة ونظام سائل تبريد مستقل وقياس داخل الخط، لترقيق الرقائق حتى 12 بوصة من الخلف: تُرقَّق الرقاقة إلى أقل من 100 ميكرومتر، والطاولة Φ320 تغطي 12 بوصة، والسطح Ra 0,05 ميكرومتر، وانحراف الطاولة المحوري 0,000050 مم.

Thinned thickness< 100μm
Table diameterφ320 (covers 12-inch)
Surface roughnessRa 0.05μm
Table axial runout0.000050mm
  • Wafer thinning
  • 12-inch compatible
  • Cleanroom interface
  • Dedicated coolant
Full technical specifications
GM3207B-IC — main technical specifications
ItemSpecification
Max grinding size (diameter x height)320~350mm
Worktable swing diameter320mm
Surface roughnessRa 0.05μm
Rotational accuracy0.05 μm (50 nm)
Parallelism of machined face to base0.01mm/500mm
Worktable spindle speed0.000001–30,000 r/min (stepless)
Turntable load0.1~500kg
Direct-drive motor power (Y55M-4)4 kW (three-phase induction)
Air pump pressure0.3–0.6 MPa (3-stage filtration)
Worktable feed rate (optional vertical mode)0.5 m/min (servo controlled)
Machine dimensions1200 (L) x 800 (W) x 760 (H) mm
Total weight500kg
Total power4kW

03 · الليزر والطباعة الحجرية

الليزر والليثوغرافيا

التعريض التداخلي بالأشعة فوق البنفسجية العميقة يكتب هياكل بدورة نانومترية مباشرة — مسار ثانٍ لتصنيع المحزوزات إلى جانب الحفر الميكانيكي.

GPSZWBG-01Aنظام طباعة حجرية تداخلية DUV بدون قناع

GPSZWBG-01A 深紫外(DUV)无掩膜干涉曝光刻机
DUV interference lithography system on site

يعرّض تداخل متعدد الحزم من ليزر ArF الإكسيمري (193 نانومتر) أهدابًا نانومترية مباشرة دون قناع تقليدي: عرض الخط ≤55 نانومتر، ودورة المحزوز الخطي ≤120 نانومتر، ورقائق 4 بوصة، ومساحة نمط فعالة ≥94 مم، وتجانس شدة ≤2%، ودقة محاذاة ≤0,8 ميكرومتر. تغيير النمط يستلزم فقط تعديل المسار البصري وقناع الطور — دون إعادة إنتاج طقم أقنعة كروم.

Light sourceArF excimer, 193 nm
Wafer size4 inch
Feature linewidth≤55nm
Grating period≤120nm
  • Diffraction grating fabrication
  • Semiconductor processes
  • Research metrology
  • Phase masks
Full technical specifications
GPSZWBG-01A — technical specifications
ItemSpecification
1. Laser lithography main system
Light sourceArF excimer laser
Wafer size4 inch
Effective pattern area≥94mm
Intensity uniformity≤2%
Alignment accuracy≤0.8μm
Beam size≥110mm
Line-grating duty cycle25%~55%
Feature linewidth≤55nm
2. Standard process
Exposed linear grating period≤120nm
Effective pattern-area diameter≥95mm
3. High-precision phase mask
Phase-mask specification0.08 μm / 300 nm / 200 nm, three grades
4. Nanometer displacement measurement system
Sensor resolution≤4nm
Max working distance≥0.5m
Axes3 axes
Bandwidth≥1MHz
5. Optical fine-alignment stage
Coarse-stage resolution≤2μm
Repeatability≤2μm
Travel≥10mm
Interferometric grating resolution≤5nm

04 · المكونات الأساسية

المكونات الأساسية

المغازل والأدلة والطاولات الهوائية: دقة الماكينة تحددها هذه المكونات، وهي تُورَّد منفصلة أيضًا. جميع القطع مصممة ومصنّعة داخليًا ويمكن تخصيصها بحسب مسافة الحركة والحمل والسرعة ودرجة الدقة.

لماذا تُهمّ المكونات المطوّرة داخليًا

自研核心部件的意义
Air-bearing spindles and rotary tables set the accuracy of the whole machine

الشكل النهائي لسطح مخروط بالألماس تحدده دقة دوران المغزل واستقامة الدليل. تصنع Guangbo Technology كل مغزل ودليل وطاولة هوائية داخليًا: الماكينة والمكوّن من منشأ واحد، وسلسلة الدقة لا تحتوي على صندوق أسود مشترى، ويمكن للعميل شراء المكونات منفصلة كبديل للوحدات المستوردة.

In-houseSpindles / guides / rotary tables
SupplyComplete machines and components sold separately
CustomizationTravel / load / speed / accuracy

مغازل كهربائية هوائية (6 سلاسل / 7 طرازات)

GP13364 / GP13364Cمغزل هوائي (دعم هوائي ودفع هوائي)

GP13364 / GP13364C 气浮主轴(空气支撑 + 空气驱动)
GP13364 series air-bearing spindle (ER11 collet end)

مغزل هوائي عالي السرعة، مدعوم ومدفوع بالهواء: 0,1–120,000 دورة/دقيقة، وأقصى انحراف ديناميكي DRO 0,1 ميكرومتر عند 300 دورة/دقيقة، وانحراف شعاعي متزامن أقل من 1 ميكرومتر وغير متزامن أقل من 0,25 ميكرومتر، مع ظرف ER11 ذاتي التمركز يقبل حتى 6,35 مم.

Speed range0.1–120,000rpm
Max dynamic runout0.1μm@300rpm
Synchronous radial deviation<1μm
Clamping diameter6.35mm(ER11)
Full technical specifications
Technical specifications
ParameterValue
ModelGP13364 / GP13364C
Drive typeAir-support + air-drive
Speed range0.1–120,000 rpm (encoder optional)
Max dynamic runout (DRO)0.1μm@300rpm
Synchronous radial deviation<1μm
Asynchronous radial deviation<0.25μm
Max clamping diameter6.35 mm (ER11 self-centering collet)
Air supply pressure0.4~0.6MPa
Air consumption90 nl/min static, 60 nl/min dynamic
Max axial impact force5kg
Collet torqueMax 0.3 kg
Speed sensorStandard
Weightapprox. 3.6 kg

GP6212-H10مغزل كهربائي هوائي (200,000 دورة/دقيقة)

GP6212-H10 空气电主轴(200,000rpm)
GP6212-H10 high-speed air-bearing motor spindle

مغزل كهربائي هوائي بسرعة تصل إلى 200,000 دورة/دقيقة. القياسات المصنعية: خلوص محوري 5 ميكرومتر، وانحراف ساكن ≤1 ميكرومتر، وانحراف حركي ≤6 ميكرومتر، وتعشيق الظرف 99% — والدقة الساكنة والحركية أفضل من القيم الاسمية.

Max speed200,000rpm
Static deviation≤1μm
Dynamic deviation≤6μm
Collet engagement rate99%
Full technical specifications
GP6212-H10 measured vs. rated values
ParameterMeasuredRated
Max speed200,000rpm—
Axial float5μm≤20μm
Static deviation≤1μm≤2μm
Dynamic deviation≤6μm<9μm
Collet torque≥620g≥600g
Collet engagement rate99%98~100%
Release air pressure3.2kg/cm²below 5
Clamping air pressure2.6kg/cm²≥3.0
Three-phase impedance2.3±0.1Ω2.3±0.2Ω
Insulation withstand voltage1500V≥1500V
Drive current3.6A3.6±0.1A

GPZ6220Hمغزل كهربائي هوائي عالي الأداء (300,000 دورة/دقيقة)

GPZ6220H 高性能空气支撑电主轴(30 万转)
GPZ6220H high-speed air-bearing motor spindle

1–300,000 دورة/دقيقة، وثقب من 0,05 مم إلى 6,35 مم؛ قدرة مستمرة 750 واط وتبديد مبرد مائي 700 واط، وتحسّس سرعة مغناطيسي/TTL — للثقب الدقيق وتجليخ الأدوات الدقيقة.

Speed range1–300,000rpm
Min hole diameter0.05mm
Output power750 W continuous
Max dynamic runout3μm@300,000rpm
Full technical specifications
Technical specifications
ParameterValue
Speed range1~300,000rpm
Min hole diameter0.05 mm (1/8 inch = 3.175 mm shank)
Max hole diameter6.35 mm (1/4 inch)
Bearing air supply pressure0.6MPa
Air consumption90 nl/min static, 60 nl/min dynamic
Max dynamic runout (DRO)3μm@300,000rpm
Max axial impact force20kg
Collet radial breakaway impact force7kg@300,000rpm
Motor output power750 W continuous
Input voltagemax 220 V
CoolingWater-cooled, 700 W heat dissipation, 1.4 l/min
Collet torqueMax 0.3 kg
Speed sensorReluctance / TTL
Weightapprox. 2.6 kg

GBH-248150BP / SFمغزل هوائي كهربائي عالي التحمل

GBH-248150BP / SF 大承载气浮电主轴
GBH-248150 series high-load motor spindle

دقة الدوران الشعاعي والمحوري ≤0,05 ميكرومتر، والقدرة من 0,5 إلى 6 كيلوواط، والتحمل الشعاعي والمحوري أكثر من 40 كغ (قابل للتخصيص)، وتبريد هوائي أو مائي — للتجليخ الدقيق الثقيل والقطع البصري الكبير.

Rotational accuracy≤0.05 μm (radial / axial)
Power options0.5–6kW
Load capacity>40 kg (customizable)
CoolingAir / water cooling
Full technical specifications
Technical specifications
ParameterValue
Standard modelsGBH-248150BP (inverter motor) / GBH-248150SF (servo motor)
Radial rotational accuracy≤0.05μm
Axial rotational accuracy≤0.05μm
Power options0.5~6kW
Speed1 / 3000 / 10,000 rpm steps
Radial load capacityover 40 kg (customizable)
Axial load capacityover 40 kg (customizable)
Air supply pressure0.4~0.6MPa
Cooling methodAir / water cooling

GPZ65I95Eمغزل كهربائي عالي السرعة (φ65×195)

GPZ65I95E 高速电主轴(φ65×195)
GPZ65I95E high-speed motor spindle

800 واط عند 220 فولت، وتغيير سرعة متصل 0–24,000 دورة/دقيقة، وظرف ER11 لأعمدة 1–7 مم، والجسم بقطر 65 مم وطول 195 مم ومقطع الظرف 35 مم، والوزن الصافي 2,8 كغ. تشحيم بالشحم وتبريد مائي؛ ويتطلب مغير تردد.

Power800W(220V)
Speed0–24,000rpm
ColletER11 / 1–7mm
Dimensionsφ65 × 195mm
Full technical specifications
Technical specifications
ParameterValue
ModelGPZ65I95E
Power800W(220V)
Current5A
Frequency400Hz(0~400)
SpeedStepless, 0–24,000 rpm
Cooling methodWater-cooled
ColletER11, tool shank 1–7 mm
LubricationGrease lubrication
Dimensionsφ65 mm, 195 mm long, collet section 35 mm
Net weight2.8kg
Operating requirementsRequires a VFD; do not connect directly to mains
WarrantyOne-year warranty

GPZ120135349H6مغزل كهربائي عالي السرعة للثقب والتفريز (ثلاث قدرات)

GPZ120135349H6 高速钻铣电主轴(三款规格)
GPZ120135349H6 ultra-precision drilling/milling spindle motor

مغزل كهربائي عالي السرعة للثقب والتفريز بثلاث قدرات 6,00 / 5,50 / 4,50 كيلوواط، جميعها 380 فولت، 18,000 دورة/دقيقة، وانحراف 0,1 ميكرومتر، ونهاية ER32، وحماية IP54، وتبريد هوائي، وتغيير أدوات يدوي.

Rated power6.00 / 5.50 / 4.50kW
Rated speed18,000 r/min
Rotational runout0.1μm
Spindle interfaceER32
Full technical specifications
GPZ120135349H6 — comparison of three ratings
Specification6.00-ER32F5.50-ER32TW4.50-ER32TF
Rated power6.00 kW5.50 kW4.50 kW
Runout accuracy0.1UM0.1UM0.1UM
Rated voltage380V380V380V
Rated frequency600Hz600Hz300Hz
Rated speed18000 r/min18000 r/min18000 r/min
Poles4P4P4P
Rated current12.60A12.20A9.50A
Rated torque3.18 N·m2.90 N·m2.38 N·m
Power factor0.810.810.81
Protection classIP54IP54IP54
Cooling methodAir-cooledAir-cooledAir-cooled
Tool changeManualManualManual
Spindle interfaceER32F (right-hand thread)ER32TW (optional)ER32TF (optional)
Nanometer air-bearing components — model selection
No.Size ID x OD x length (mm)Graphite OD (mm)Load (g)Support and driveRunout (μm)Max speed (rpm)
01Φ3×φ6×10Φ4.520Air-bearing + aerodynamic0.05260000
02Φ6×φ10×30Φ840Air-bearing + aerodynamic0.05220000
03φ9×φ20×40Φ1560Air-bearing + aerodynamic0.05180000
04Φ15×φ30×50Φ2090Air-bearing + aerodynamic0.05120000
05Φ20×φ35×70Φ25190Air-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.1120000
06Φ30×φ45×75Φ35320Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.1100000
07Φ35×φ55×80Φ42400Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.2100000
08φ45×φ65×120Φ50650Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.280000
09φ55×φ65×150Φ58950Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.280000
10φ65×φ95×180Φ753200Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.580000
11φ75×φ105×200Φ854000Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.570000

أدلة هوائية ومنصات دقيقة

سلسلة GPD-80 Dدليل هوائي (عمود أسطواني + منزلق هوائي)

GPD-80 D 系列 气浮导轨(圆柱轴 + 气浮滑座)
D-series air-bearing guide and slide

عمود أسطواني مع منزلق هوائي، بتكوين منزلق واحد أو منزلقين: دقة تحديد الموضع ≤0,1 ميكرومتر، ودقة الإزاحة ±0,2–0,5 ميكرومتر، وصلابة 8 كغ/ميكرومتر، وأقصى تسارع 5G، وحمل شعاعي 0,1–600 كغ، ومشوار 500–2000 مم على 11 درجة قياسية وقابل للتخصيص حتى 4000 مم.

Positioning accuracy≤0.1μm
Guide stiffness8kg/μm
Radial load capacity0.1–600kg
Max acceleration5G
Full technical specifications
D-series air-bearing guide — general specifications
ParameterValue
ModelGPD-80 type (coded by travel and slide OD, e.g. GP D50045G)
StructureCylindrical shaft + air-bearing slide (single or dual slide)
Air supply pressure0.4~0.6MPa
Positioning accuracy≤0.1μm
Displacement accuracy±0.2~0.5μm
Guide stiffness8kg/μm
Max acceleration5G
Radial load capacity0.1–600 kg (customizable)
Protection classIP40 / IP50
Operating temperature0~40℃
OrientationHorizontal or vertical
Service lifeOver 10 years
D-series air-bearing guide — selection table
No.Size ID x OD x length (mm)Slide ID (mm)Load (g)Slide OD (mm)Max speed (m/s)
1φ19×φ25×500φ19~φ252000φ39~φ4530
2φ29×φ35×700φ29~φ354000φ49~φ5525
3φ39×φ45×1000φ39~φ456000φ59~φ6520
4φ45×φ55×1200φ45~φ556500φ65~φ758
5φ49×φ55×1200φ49~φ559000φ69~φ7518
6φ55×φ65×1500φ55~φ659500φ75~φ856
7φ59×φ65×1500φ59~φ6519000φ79~φ8515
8φ65×φ75×1800φ65~φ7532000φ85~φ955
9φ69×φ75×1800φ69~φ7532000φ89~φ9512
10φ75×φ85×2000φ75~φ8540000φ95~φ1055
11φ79×φ85×2000φ79~φ8540000φ99~φ10510

GP-YN2020منصة نانومترية هوائية مزدوجة الطبقة قصيرة المشوار

GP-YN2020 双层气浮静压纳米级小行程滑台
GP-YN2020 dual-layer XY air-bearing stage

منصة دقيقة قصيرة المشوار بدعم هوائي مزدوج الطبقة: تحديد موضع بحلقة مغلقة ±50 نانومتر، وتكرارية ±20 نانومتر، وأصغر خطوة 1 نانومتر، واستقامة وتسطح حركة ≤0,1 ميكرومتر/25 مم، وخلوص هوائي غير ملامس 8–15 ميكرومتر، مع مسطرة نانومترية بدقة 0,1 نانومتر / 1 نانومتر.

Positioning accuracy±50 nm (closed loop)
Repeatability±20nm
Min step1nm
Air gap8–15μm
Full technical specifications
GP-YN2020 dual-layer aerostatic stage — specifications
ParameterValue
ModelGP-YN2020 (dual-layer aerostatic nanometer short-travel stage)
TravelX/Y 200 x 200 mm (10–100 mm customizable)
Positioning accuracy±50 nm (closed loop)
Repeatability±20nm
Min step increment1nm
Motion straightness≤0.1μm/25mm
Flatness≤0.1μm/25mm
Max load (horizontal)5 kg (higher on request)
Max speed20mm/s
Air supply pressure0.45–0.6 MPa (dry clean air or N2)
Air gap8–15 μm (non-contact)
Feedback sensorNanometer grating scale, 0.1 nm or 1 nm resolution
Body materialAluminium alloy / Invar / ceramic (optional)
Operating temperature20±0.5℃
Cleanliness classISO Class 3 or better; vacuum-compatible version optional

Air-bearing rotary table

ABR standard seriesطاولة دوارة هوائية (φ120–φ300)

ABR 标准系列 气浮转台(φ120–φ300)
ABR series air-bearing rotary table platter

تغطي سلسلة ABR القياسية ستة أحجام طاولة من φ120 إلى φ300 مم بانحراف محوري <0,1–0,3 ميكرومتر، وانحراف شعاعي <0,1–0,4 ميكرومتر، وحمل 300–2000 نيوتن، مع تقسيم دائري كامل أفضل من ±1″. وفوق φ300 مم تُصنع الطاولات حسب الطلب حتى φ1000 مم.

Table diameterφ120–φ300
Axial runout<0.1–0.3μm
Radial runout<0.1–0.4μm
Load capacity300–2000N
Full technical specifications
ABR standard series — selection table
ParameterABR-120MABR-150MABR-170MABR-200MABR-250MABR-300M
Platter diameter (mm)φ120φ150φ170φ200φ250φ300
Axial runout (μm)<0.1<0.1<0.18<0.15<0.25<0.3
Radial runout (μm)<0.1<0.2<0.3<0.3<0.4<0.4
Load (N)>300>400>500>1000>1500>2000

Large-diameter custom rotary tableطاولة دوارة هوائية بقاعدة فولاذية

Large-diameter custom rotary table with steel-frame base
Steel-frame large-diameter air-bearing rotary table

طاولة دوارة هوائية كبيرة القطر للبصريات ذات الفتحة الكبيرة ومنصات القياس الكبيرة: قاعدة من الصلب مع دوران هوائي، وقطر الطاولة والتحمل يُخصَّصان حسب حجم القطعة؛ مادة القاعدة اختيارية: إطار فولاذي أو رخام (جرانيت).

PlatterCustomizable up to φ1000 mm
BaseSteel frame / marble (optional)
IndexingFull-circle grating ±1″

05 · القياس الدقيق

القياس الدقيق

قياس نانومتري للاستدارة والتموج والتحادد المحوري والتسطح لقبول الشحن والتحكم المغلق في العملية.

GP326Hمقياس استدارة (متوافق مع GP316H / GP306H)

GP326H 圆度测量仪(兼容 GP316H / GP306H)
GP326H roundness measurement on site

دقة المغزل ±0,035 ميكرومتر، ودقة النظام ≤0,05 ميكرومتر، ودقة القياس 0,01 ميكرومتر، وحتى 8192 نقطة في الدورة. يقيس الاستدارة والتموج والتمركز والتحادد المحوري والتوازي والتسطح والتعامد واللامركزية والانحراف؛ وقطر الطاولة الفعال 200 مم (GP326H) و256 مم (GP316H) و300 مم (GP306H)، وارتفاع القياس 450 مم.

Spindle accuracy±0.035μm
System accuracy≤0.05μm
Resolution0.01μm
Sampling8192 points/rev
Full technical specifications
GP326H roundness instrument — specifications
ItemGP326HGP316HGP306H
Measured quantitiesRoundness, waviness, concentricity, coaxiality, parallelism, flatness, squareness, eccentricity, runout (identical across the three models)
Spindle accuracy±0.035 μm (all three models)
System accuracy≤0.05 μm (all three models)
Spindle speed5 r/min (all three models)
Max table load40kg60kg60kg
Effective table diameter200mm256mm300mm
Min workpiece bore3 mm (all three models)
Measuring height450 mm (all three models)
Rotary worktablePrecision levelling and centring (all three models)
Sensor traversingJoystick-controlled motorized (all three models)
Measuring range±50 μm / ±100 μm / ±400 μm (all three models)
Measuring resolution0.01 μm (all three models)
Max sampling resolution8192 points/rev (all three models)
Digital filter bands2-15, 2-50, 2-150, 2-500, 15-150, 15-250 (all three models)
Magnification400 / 1000 / 2000 / 4000 / 10,000 / 20,000 / 40,000 / 80,000 / 100,000 (all three models)
Roundness evaluationLSC, MZC, MIC, MCC (all three models)
Other functionsHarmonic analysis, slope analysis, database archiving (all three models)
Extended functionsPartial-arc roundness, motor commutator roundness, wafer-to-wafer variation (all three models)
AccessoriesPrecision three-jaw chuck, partial-arc software, commutator software (all three models)
Working air pressure0.40–0.43 MPa (all three models)
Supply air pressure0.45–0.80 MPa (all three models)
Main unit dimensions800 x 500 x 1450 mm (all three models)
Main unit weightapprox. 220 kg (all three models)

06 · التشغيل والقياس

التشغيل والقياس في المصنع

الخراطة بالألماس أحادي النقطة في الإنتاج وتقرير قياس الشكل المرافق: قطعة بفتحة 75 مم، بقياس PV 0,915 / 0,430 ميكرومتر وRMS 0,078 ميكرومتر. تُسلَّم بيانات القياس مع كل ماكينة ويمكن تتبعها حتى القطعة ومعاملات التشغيل.

单晶金刚石刀具车削工件实拍
Single-crystal diamond arc-edge tool turning a workpiece (edge radius ≤50 nm)
面形检测报告:口径 75mm,PV 0.915/0.430μm,RMS 0.078μm
Form-measurement report: 75 mm aperture, PV 0.915 / 0.430 μm, RMS 0.078 μm

أرسل لنا قطعتك: نثبت النتيجة أولًا ثم نتحدث عن الماكينة

النظام فائق الدقة المناسب تحدده هيئة قطعتك وخشونتها. عينة ← تقرير قياس ← الطراز والتجهيزات: هذا مسارنا القياسي مع كل عميل. داخل دلتا نهر اللؤلؤ نصل خلال 24 ساعة إلى الموقع، ويمكن لعملاء الخارج متابعة القبول عن بُعد.