Shenzhen Guangbo Luwei Innovation Technology Co., Ltd. · Marca: Guangbo Technology Nodo de Hong Kong · Sin registro ICP · Accesible en todo el mundo

Products & Specifications

Cada máquina fotografiada, con sus especificaciones completas, en una sola página

Esta página reúne los equipos de mecanizado ultrapreciso, los sistemas láser y de litografía, los componentes clave y los instrumentos de metrología de precisión que Guangbo Technology ofrece actualmente. Cada modelo incluye una fotografía de la máquina o del componente, sus indicadores clave y su ficha técnica de fábrica. Los valores proceden de documentación técnica interna; el anexo del contrato prevalece para la entrega.

01 · Torneado ultrapreciso

Torneado de ultra-precisión

Desde equipos de sobremesa hasta el torneado de caras de 3,5 metros, desde substratos planos hasta cilindros largos: el torneado de diamante de punto único cubre todas las clases de superficies ultraprecisas, de revolución y no de revolución.

GPZ100NTorno de diamante de punto único para aperturas pequeñas

GPZ100N 小口径单点金刚石车床
Máquina completa GPZ100N (torno-fresadora-rectificadora de sobremesa)

Torno de diamante ultrapreciso de sobremesa que integra torneado, fresado y rectificado. Diseñado para lentes infrarrojas, espejos ópticos y moldes de precisión de φ80–100 mm: torneado especular, fresado y rectificado en un solo amarrado. Adecuado para laboratorios y pequeñas líneas de producción.

Working diameter80–100mm
Surface roughnessRa ≤2nm
Form accuracyPV ≤0.02μm
Spindle speed1–100,000rpm
  • Infrared optics
  • Aeroespacial
  • Consumer electronics
  • Precision molds
  • Turn-mill-grind integrated
Full technical specifications
Working diameter80~100mm
Surface roughnessRa ≤ 2nm
Form accuracyPV ≤ 0.02μm
Spindle speed1~100000rpm

GPD200NTorno de diamante de punto único de husillo vertical para caras

GPD200N 立式端面单点金刚石车床
Máquina vertical de torneado de caras GPD200N

Husillo vertical con la pieza encarada hacia arriba, para torneado nanométrico de caras y superficies curvas en piezas de φ10–200 mm. Base de granito, regla nanométrica en bucle cerrado, aislamiento activo de vibraciones y control térmico de precisión; ejes X/Z o interpolación X/Z/B. El eje B fija el punto de corte y reduce notablemente el efecto del error de arco de la herramienta sobre la forma: ideal para asféricos pronunciados.

Max working diameterφ10–200mm
Radial / axial runout< 0.05μm
Surface roughnessRa < 10nm
Form accuracyPV < 0.3μm
  • Vertical face-turning integration
  • Three-axis fixed-point turning
  • Sub-nanometer dynamic accuracy
  • Cost 1/3–1/2 of imported equivalents
Full technical specifications
GPD200N vertical face-turning SPDT lathe — technical specifications
ParameterValue
Max working diameterφ10–200mm
Spindle rotational accuracyRadial / axial runout < 0.05 μm
Surface roughnessRa < 10nm
Form accuracyPV < 0.3μm
Axis configurationX/Z two axes or X/Z/B three axes
Machine configurationVertical face-turning structure, vertical spindle layout

GPC12100HTorno de diamante plano de cuatro ejes · máquina de rayado de nano-redes

GPC12100H 平面四轴单点金刚石车床 · 纳米光栅刻划机
Máquina completa GPC12100H (designación de tipo SPDT-4AX)

Motores lineales directos en X/Y/Z y un motor de par con indexación continua en C graban directamente redes y matrices de microestructuras de período 140–180 μm y 20–50 μm de profundidad en placas de níquel de 1060×940 mm. Cuarenta y cinco celdas de 20×20 mm se unen sin costura en interpolación de cuatro ejes para cancelar el error acumulado, alcanzando un espejo de calidad óptica en una sola pasada, sin pulido posterior; tras la compensación de rectitud de primer y segundo orden, el frente de onda difractado mejora hasta unos 83 nm PV.

Travel X / Y / Z1200 / 1000 / 150mm
Positioning accuracy±0.1 μm (Z axis ±0.05 μm)
Max substrate size1060×940mm
Form accuracyPV ≤0.2μm
  • Security-printing gratings
  • Spectrometer gratings
  • AR waveguide lenses
  • Microlens arrays
  • Diffractive optical elements (DOE)
Full technical specifications
GPC12100H — technical specifications
ItemSpecification
X-axis travel1200 mm, linear-motor driven, positioning accuracy ±0.1 μm
Y-axis travel1000 mm, linear-motor driven, positioning accuracy ±0.1 μm
Z-axis travel150 mm, linear-motor driven, positioning accuracy ±0.05 μm
C axisContinuous rotation, torque motor, positioning accuracy ±0.5″
Max feed rateX/Y 5000mm/min、Z 2000mm/min、C 500°/min
Minimum command unitLinear axis 0.0001 mm (0.1 μm), rotary axis 0.0001°
Interpolation cycle1ms
FieldbusEtherCAT, 250 μs cycle
Control architectureIndustrial PC + Omron or Mitsubishi PLC + linear-motor drives, three-tier distributed
WorktableGrade 00 granite, flatness ≤2 μm/m, vacuum chuck 1060 x 940 mm
ToolingNatural single-crystal diamond arc-edge tool, edge radius ≤50 nm
Cooling and lubricationMQL oil-mist cooling plus thermostatted oil cooling for spindle and guides
EnclosureFully enclosed splash guard
OptionsThermostatted humidity-controlled enclosure (20±0.5 °C, 45%±5% RH); femtosecond/picosecond dual-mode laser unit

GPH1200NTorno horizontal ultrapreciso de grabado de cilindros

GPH1200N 卧式辊雕超精密车床
Torno horizontal de grabado de rodillos (mecanizado de cilindros largos)

Máquina horizontal dedicada a cilindros de elevada relación longitud/diámetro: 1200 mm de longitud, Φ300 mm de diámetro y piezas de hasta 1 t. Realiza el torneado especular de cilindros de nanoimpresión, cilindros maestros de redes y cilindros de seguridad en un solo amarrado en toda la longitud, evitando marcas de reenganche.

Working length1200mm
Working diameterΦ300mm
Workpiece weight≤1t
Surface roughnessRa ≤5nm
  • Imprint rollers
  • Grating master rollers
  • Security imprint rollers
  • High-aspect-ratio rollers

GP500NTorno de diamante de punto único horizontal ultrapreciso

GP500N 超精密卧式单点金刚石车床
Torno horizontal de ultra precisión (ejes X/Z, base de granito natural)

Torno horizontal ultrapreciso para superficies planas y esféricas de medio y gran diámetro, hasta Φ320 mm. Motores lineales directos X/Z, guías hidrostáticas o aerostáticas y regla nanométrica en bucle cerrado mantienen la excentricidad axial y radial del husillo en ≤15 nm.

Max working diameterΦ320mm
Surface roughnessRa < 1nm
X / Z positioning accuracy≤0.1μm
Spindle runout≤15nm
  • Large-aperture flats
  • Spherical and aspheric
  • Infrared windows

GP15B100HTorno nanométrico ultrapreciso de sobremesa

GP15B100H 桌面级超精密纳米车床
Torno de sobremesa de ultra precisión GP15B

Tamaño de sobremesa con precisión de laboratorio. Ocupa menos que una mesa de laboratorio y es adecuado para desarrollo de prototipos, validación de procesos y torneado nanométrico de pequeñas series; con bajos requisitos de instalación y suministros se despliega rápidamente en universidades e institutos.

Machine formatBenchtop
Machining accuracyNanometer-level surface
Typical usePrototyping / process validation
  • Benchtop
  • Laboratory deployment
  • Prototyping

GP3500Torno vertical CNC ultrapreciso especializado

Plataforma de torneado de caras de clase 3,5 metros, con la misma arquitectura vertical que el GPD200N: husillo vertical, pieza encarada hacia arriba, para torneado nanométrico de grandes ópticas, piezas de paneles de visualización y moldes grandes.

Capacity3.5 m class diameter
StructureVertical face turning
Same-platform modelGPD200N (φ10–200 mm)
  • Large-diameter faces
  • Display panels
  • Large molds

02 · Rectificado ultrapreciso

Rectificado de ultra-precisión

Rectificado plano de husillo vertical y mesa giratoria, y adelgazado de obleas: rectificado especular de materiales duros y frágiles y adelgazado de substratos semiconductores.

GM3207BRectificadora plana ultraprecisa de husillo vertical y mesa giratoria (rectificadora aerostática)

GM3207B 超精密立轴转台平面研磨机(气浮磨床)
Rectificadora aerostática GM3207B, máquina completa

Rectificadora plana ultraprecisa de husillo vertical y mesa giratoria: excentricidad axial de la mesa 0,000050 mm, superficie rectificada Ra 0,05 μm y precisión de giro de la mesa 0,05 μm (50 nm). Rectifica en espejo materiales duros y frágiles —cerámica, vidrio, zafiro, metal duro y substratos semiconductores— con velocidad de mesa continua de 0,000001 a 30 000 r/min y cargas de 0,1 a 500 kg.

Max grinding sizeφ320–350mm
Rotational accuracy0.05μm(50nm)
Surface roughnessRa 0.05μm
Table axial runout0.000050mm
  • Hard and brittle materials
  • Ceramics / glass / sapphire
  • Semiconductor substrates
  • Mirror grinding
Full technical specifications
GM3207B — main technical specifications
ItemSpecification
Max grinding size (diameter x height)320~350mm
Worktable swing diameter320mm
Surface roughnessRa 0.05μm
Rotational accuracy0.05 μm (50 nm)
Parallelism of machined face to base0.01mm/500mm
Worktable spindle speed0.000001–30,000 r/min (stepless)
Turntable load0.1~500kg
Direct-drive motor power (Y55M-4)4 kW (three-phase induction)
Air pump pressure0.3–0.6 MPa (3-stage filtration)
Worktable feed rate (optional vertical mode)0.5 m/min (servo controlled)
Machine dimensions1200 (L) x 800 (W) x 760 (H) mm
Total weight500kg
Total power4kW
GM3207B — factory accuracy inspection record
ItemSpecification
Worktable flatness0.001 mm (concave only)
Worktable axial runout0.000050mm
Grinding-spindle axial play0.001mm
Grinding-spindle centering runout0.001mm
Parallelism of finished test piece to its base0.001 mm (test piece 100 ≤ d ≤ D/10, h ≥ 60; sapphire, unhardened)
GM3207B — operating environment
ItemSpecification
Power supply380V±10%、50Hz±3%
Total power4kW
Ambient temperature5~60℃
Ambient humidity30%~65%
Noise level≤30dB

GM3207B-ICConfiguración para adelgazado de obleas (personalizable)

GM3207B-IC 晶圆减薄专用配置(可定制)
Wafer thinning on site

Sobre la base GM3207B, con interfaz de sala limpia para CI, circuito de refrigerante específico y verificación en línea, para el adelgazado posterior de obleas de hasta 12 pulgadas: espesor final por debajo de 100 μm, mesa Φ320 que cubre 12 pulgadas, superficie Ra 0,05 μm y excentricidad axial de mesa 0,000050 mm.

Thinned thickness< 100μm
Table diameterφ320 (covers 12-inch)
Surface roughnessRa 0.05μm
Table axial runout0.000050mm
  • Wafer thinning
  • 12-inch compatible
  • Cleanroom interface
  • Dedicated coolant
Full technical specifications
GM3207B-IC — main technical specifications
ItemSpecification
Max grinding size (diameter x height)320~350mm
Worktable swing diameter320mm
Surface roughnessRa 0.05μm
Rotational accuracy0.05 μm (50 nm)
Parallelism of machined face to base0.01mm/500mm
Worktable spindle speed0.000001–30,000 r/min (stepless)
Turntable load0.1~500kg
Direct-drive motor power (Y55M-4)4 kW (three-phase induction)
Air pump pressure0.3–0.6 MPa (3-stage filtration)
Worktable feed rate (optional vertical mode)0.5 m/min (servo controlled)
Machine dimensions1200 (L) x 800 (W) x 760 (H) mm
Total weight500kg
Total power4kW

03 · Láser y litografía

Láser y litografía

La exposición por interferencia DUV escribe directamente estructuras de período nanométrico: una segunda vía hacia la red, más allá del rayado mecánico.

GPSZWBG-01ASistema de litografía por interferencia DUV sin máscara

GPSZWBG-01A 深紫外(DUV)无掩膜干涉曝光刻机
DUV interference lithography system on site

La interferencia multi-haz de un láser excímero ArF (193 nm) expone directamente franjas de período nanométrico, sin máscara convencional: línea de ≤55 nm, período de red lineal ≤120 nm, obleas de 4 pulgadas, área útil ≥94 mm, uniformidad ≤2 % y alineación ≤0,8 μm. Cambiar el motivo exige solo modificar el camino óptico y la máscara de fase, sin un nuevo juego de máscaras de cromo.

Light sourceArF excimer, 193 nm
Wafer size4 inch
Feature linewidth≤55nm
Grating period≤120nm
  • Diffraction grating fabrication
  • Semiconductor processes
  • Research metrology
  • Phase masks
Full technical specifications
GPSZWBG-01A — technical specifications
ItemSpecification
1. Laser lithography main system
Light sourceArF excimer laser
Wafer size4 inch
Effective pattern area≥94mm
Intensity uniformity≤2%
Alignment accuracy≤0.8μm
Beam size≥110mm
Line-grating duty cycle25%~55%
Feature linewidth≤55nm
2. Standard process
Exposed linear grating period≤120nm
Effective pattern-area diameter≥95mm
3. High-precision phase mask
Phase-mask specification0.08 μm / 300 nm / 200 nm, three grades
4. Nanometer displacement measurement system
Sensor resolution≤4nm
Max working distance≥0.5m
Axes3 axes
Bandwidth≥1MHz
5. Optical fine-alignment stage
Coarse-stage resolution≤2μm
Repeatability≤2μm
Travel≥10mm
Interferometric grating resolution≤5nm

04 · Componentes clave

Componentes clave

Husillos, guías y mesas aerostáticos: la precisión de la máquina depende de estos componentes, que también se suministran por separado. Todas las piezas se diseñan y fabrican internamente y pueden personalizarse según carrera, carga, velocidad y clase de precisión.

Por qué importan los componentes de desarrollo propio

自研核心部件的意义
Air-bearing spindles and rotary tables set the accuracy of the whole machine

La forma final de una superficie torneada con diamante la determinan la precisión de giro del husillo y la rectitud de la guía. Guangbo Technology fabrica internamente todos sus husillos, guías y mesas aerostáticos: máquina y componente comparten origen, la cadena de precisión no contiene cajas negras compradas y el cliente puede adquirir los componentes por separado para sustituir unidades importadas.

In-houseSpindles / guides / rotary tables
SupplyComplete machines and components sold separately
CustomizationTravel / load / speed / accuracy

Husillos eléctricos aerodinámicos (6 series / 7 modelos)

GP13364 / GP13364CHusillo aerostático (soportado y accionado por aire)

GP13364 / GP13364C 气浮主轴(空气支撑 + 空气驱动)
GP13364 series air-bearing spindle (ER11 collet end)

Husillo aerostático de alta velocidad, soportado y accionado por aire: 0,1–120 000 rpm, excentricidad dinámica máxima DRO 0,1 μm a 300 rpm, desviación radial síncrona <1 μm y asíncrona <0,25 μm, con pinza ER11 autocentrante de hasta 6,35 mm.

Speed range0.1–120,000rpm
Max dynamic runout0.1μm@300rpm
Synchronous radial deviation<1μm
Clamping diameter6.35mm(ER11)
Full technical specifications
Technical specifications
ParameterValue
ModelGP13364 / GP13364C
Drive typeAir-support + air-drive
Speed range0.1–120,000 rpm (encoder optional)
Max dynamic runout (DRO)0.1μm@300rpm
Synchronous radial deviation<1μm
Asynchronous radial deviation<0.25μm
Max clamping diameter6.35 mm (ER11 self-centering collet)
Air supply pressure0.4~0.6MPa
Air consumption90 nl/min static, 60 nl/min dynamic
Max axial impact force5kg
Collet torqueMax 0.3 kg
Speed sensorStandard
Weightapprox. 3.6 kg

GP6212-H10Husillo eléctrico aerodinámico (200 000 rpm)

GP6212-H10 空气电主轴(200,000rpm)
GP6212-H10 high-speed air-bearing motor spindle

Husillo eléctrico aerodinámico de hasta 200 000 rpm. Medido en fábrica: juego axial 5 μm, desviación estática ≤1 μm, desviación dinámica ≤6 μm y acople de pinza 99 % — precisión estática y dinámica mejor que los valores nominales.

Max speed200,000rpm
Static deviation≤1μm
Dynamic deviation≤6μm
Collet engagement rate99%
Full technical specifications
GP6212-H10 measured vs. rated values
ParameterMeasuredRated
Max speed200,000rpm—
Axial float5μm≤20μm
Static deviation≤1μm≤2μm
Dynamic deviation≤6μm<9μm
Collet torque≥620g≥600g
Collet engagement rate99%98~100%
Release air pressure3.2kg/cm²below 5
Clamping air pressure2.6kg/cm²≥3.0
Three-phase impedance2.3±0.1Ω2.3±0.2Ω
Insulation withstand voltage1500V≥1500V
Drive current3.6A3.6±0.1A

GPZ6220HHusillo eléctrico aerostático de alto rendimiento (300 000 rpm)

GPZ6220H 高性能空气支撑电主轴(30 万转)
GPZ6220H high-speed air-bearing motor spindle

1–300 000 rpm, taladrado de 0,05 a 6,35 mm; 750 W en continuo, 700 W disipados por refrigeración líquida, sensor de velocidad de reluctancia/TTL: para microtaladrado y rectificado de microherramientas.

Speed range1–300,000rpm
Min hole diameter0.05mm
Output power750 W continuous
Max dynamic runout3μm@300,000rpm
Full technical specifications
Technical specifications
ParameterValue
Speed range1~300,000rpm
Min hole diameter0.05 mm (1/8 inch = 3.175 mm shank)
Max hole diameter6.35 mm (1/4 inch)
Bearing air supply pressure0.6MPa
Air consumption90 nl/min static, 60 nl/min dynamic
Max dynamic runout (DRO)3μm@300,000rpm
Max axial impact force20kg
Collet radial breakaway impact force7kg@300,000rpm
Motor output power750 W continuous
Input voltagemax 220 V
CoolingWater-cooled, 700 W heat dissipation, 1.4 l/min
Collet torqueMax 0.3 kg
Speed sensorReluctance / TTL
Weightapprox. 2.6 kg

GBH-248150BP / SFHusillo aerostático de alta carga

GBH-248150BP / SF 大承载气浮电主轴
GBH-248150 series high-load motor spindle

Precisión de giro radial y axial ≤0,05 μm, potencia de 0,5 a 6 kW, capacidad radial y axial superior a 40 kg (personalizable), refrigeración por aire o agua: para rectificado de precisión pesado y grandes componentes ópticos.

Rotational accuracy≤0.05 μm (radial / axial)
Power options0.5–6kW
Load capacity>40 kg (customizable)
CoolingAir / water cooling
Full technical specifications
Technical specifications
ParameterValue
Standard modelsGBH-248150BP (inverter motor) / GBH-248150SF (servo motor)
Radial rotational accuracy≤0.05μm
Axial rotational accuracy≤0.05μm
Power options0.5~6kW
Speed1 / 3000 / 10,000 rpm steps
Radial load capacityover 40 kg (customizable)
Axial load capacityover 40 kg (customizable)
Air supply pressure0.4~0.6MPa
Cooling methodAir / water cooling

GPZ65I95EHusillo eléctrico de alta velocidad (φ65 x 195)

GPZ65I95E 高速电主轴(φ65×195)
GPZ65I95E high-speed motor spindle

800 W a 220 V, variación continua 0–24 000 rpm, pinza ER11 para vástagos de 1 a 7 mm, cuerpo Ø65 mm de 195 mm de largo, sección de pinza 35 mm, peso neto 2,8 kg. Lubricado con grasa y refrigerado por agua; requiere variador de frecuencia.

Power800W(220V)
Speed0–24,000rpm
ColletER11 / 1–7mm
Dimensionsφ65 × 195mm
Full technical specifications
Technical specifications
ParameterValue
ModelGPZ65I95E
Power800W(220V)
Current5A
Frequency400Hz(0~400)
SpeedStepless, 0–24,000 rpm
Cooling methodWater-cooled
ColletER11, tool shank 1–7 mm
LubricationGrease lubrication
Dimensionsφ65 mm, 195 mm long, collet section 35 mm
Net weight2.8kg
Operating requirementsRequires a VFD; do not connect directly to mains
WarrantyOne-year warranty

GPZ120135349H6Husillo eléctrico de taladrado-fresado de alta velocidad (tres potencias)

GPZ120135349H6 高速钻铣电主轴(三款规格)
GPZ120135349H6 ultra-precision drilling/milling spindle motor

Husillo eléctrico de taladrado-fresado de alta velocidad en tres potencias 6,00 / 5,50 / 4,50 kW, todas a 380 V, 18 000 r/min, excentricidad 0,1 μm, nariz ER32, protección IP54, refrigeración por aire y cambio manual de herramienta.

Rated power6.00 / 5.50 / 4.50kW
Rated speed18,000 r/min
Rotational runout0.1μm
Spindle interfaceER32
Full technical specifications
GPZ120135349H6 — comparison of three ratings
Specification6.00-ER32F5.50-ER32TW4.50-ER32TF
Rated power6.00 kW5.50 kW4.50 kW
Runout accuracy0.1UM0.1UM0.1UM
Rated voltage380V380V380V
Rated frequency600Hz600Hz300Hz
Rated speed18000 r/min18000 r/min18000 r/min
Poles4P4P4P
Rated current12.60A12.20A9.50A
Rated torque3.18 N·m2.90 N·m2.38 N·m
Power factor0.810.810.81
Protection classIP54IP54IP54
Cooling methodAir-cooledAir-cooledAir-cooled
Tool changeManualManualManual
Spindle interfaceER32F (right-hand thread)ER32TW (optional)ER32TF (optional)
Nanometer air-bearing components — model selection
No.Size ID x OD x length (mm)Graphite OD (mm)Load (g)Support and driveRunout (μm)Max speed (rpm)
01Φ3×φ6×10Φ4.520Air-bearing + aerodynamic0.05260000
02Φ6×φ10×30Φ840Air-bearing + aerodynamic0.05220000
03φ9×φ20×40Φ1560Air-bearing + aerodynamic0.05180000
04Φ15×φ30×50Φ2090Air-bearing + aerodynamic0.05120000
05Φ20×φ35×70Φ25190Air-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.1120000
06Φ30×φ45×75Φ35320Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.1100000
07Φ35×φ55×80Φ42400Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.2100000
08φ45×φ65×120Φ50650Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.280000
09φ55×φ65×150Φ58950Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.280000
10φ65×φ95×180Φ753200Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.580000
11φ75×φ105×200Φ854000Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.570000

Guías aerostáticas y mesas de precisión

Serie GPD-80 DGuía aerostática (eje cilíndrico + carro aerostático)

GPD-80 D 系列 气浮导轨(圆柱轴 + 气浮滑座)
D-series air-bearing guide and slide

Eje cilíndrico con carro aerostático, en configuración de uno o dos carros: precisión de posicionamiento ≤0,1 μm, precisión de desplazamiento ±0,2–0,5 μm, rigidez 8 kg/μm, aceleración máxima 5G, carga radial 0,1–600 kg, carrera 500–2000 mm en 11 escalones estándar y personalizable hasta 4000 mm.

Positioning accuracy≤0.1μm
Guide stiffness8kg/μm
Radial load capacity0.1–600kg
Max acceleration5G
Full technical specifications
D-series air-bearing guide — general specifications
ParameterValue
ModelGPD-80 type (coded by travel and slide OD, e.g. GP D50045G)
StructureCylindrical shaft + air-bearing slide (single or dual slide)
Air supply pressure0.4~0.6MPa
Positioning accuracy≤0.1μm
Displacement accuracy±0.2~0.5μm
Guide stiffness8kg/μm
Max acceleration5G
Radial load capacity0.1–600 kg (customizable)
Protection classIP40 / IP50
Operating temperature0~40℃
OrientationHorizontal or vertical
Service lifeOver 10 years
D-series air-bearing guide — selection table
No.Size ID x OD x length (mm)Slide ID (mm)Load (g)Slide OD (mm)Max speed (m/s)
1φ19×φ25×500φ19~φ252000φ39~φ4530
2φ29×φ35×700φ29~φ354000φ49~φ5525
3φ39×φ45×1000φ39~φ456000φ59~φ6520
4φ45×φ55×1200φ45~φ556500φ65~φ758
5φ49×φ55×1200φ49~φ559000φ69~φ7518
6φ55×φ65×1500φ55~φ659500φ75~φ856
7φ59×φ65×1500φ59~φ6519000φ79~φ8515
8φ65×φ75×1800φ65~φ7532000φ85~φ955
9φ69×φ75×1800φ69~φ7532000φ89~φ9512
10φ75×φ85×2000φ75~φ8540000φ95~φ1055
11φ79×φ85×2000φ79~φ8540000φ99~φ10510

GP-YN2020Mesa nanométrica aerostática de doble capa y carrera corta

GP-YN2020 双层气浮静压纳米级小行程滑台
GP-YN2020 dual-layer XY air-bearing stage

Mesa de precisión de carrera corta con soporte aerostático de doble capa: posicionamiento en bucle cerrado ±50 nm, repetibilidad ±20 nm, incremento mínimo 1 nm, rectitud y planitud de movimiento ≤0,1 μm/25 mm, entreferro sin contacto de 8–15 μm y regla nanométrica de 0,1 nm / 1 nm.

Positioning accuracy±50 nm (closed loop)
Repeatability±20nm
Min step1nm
Air gap8–15μm
Full technical specifications
GP-YN2020 dual-layer aerostatic stage — specifications
ParameterValue
ModelGP-YN2020 (dual-layer aerostatic nanometer short-travel stage)
TravelX/Y 200 x 200 mm (10–100 mm customizable)
Positioning accuracy±50 nm (closed loop)
Repeatability±20nm
Min step increment1nm
Motion straightness≤0.1μm/25mm
Flatness≤0.1μm/25mm
Max load (horizontal)5 kg (higher on request)
Max speed20mm/s
Air supply pressure0.45–0.6 MPa (dry clean air or N2)
Air gap8–15 μm (non-contact)
Feedback sensorNanometer grating scale, 0.1 nm or 1 nm resolution
Body materialAluminium alloy / Invar / ceramic (optional)
Operating temperature20±0.5℃
Cleanliness classISO Class 3 or better; vacuum-compatible version optional

Air-bearing rotary table

ABR standard seriesMesa giratoria aerostática (φ120–φ300)

ABR 标准系列 气浮转台(φ120–φ300)
ABR series air-bearing rotary table platter

La serie estándar ABR cubre seis platos de φ120 a φ300 mm con excentricidad axial <0,1–0,3 μm, excentricidad radial <0,1–0,4 μm y carga de 300–2000 N, con indexación por regla circular mejor que ±1″. Por encima de φ300 mm los platos se fabrican a medida hasta φ1000 mm.

Table diameterφ120–φ300
Axial runout<0.1–0.3μm
Radial runout<0.1–0.4μm
Load capacity300–2000N
Full technical specifications
ABR standard series — selection table
ParameterABR-120MABR-150MABR-170MABR-200MABR-250MABR-300M
Platter diameter (mm)φ120φ150φ170φ200φ250φ300
Axial runout (μm)<0.1<0.1<0.18<0.15<0.25<0.3
Radial runout (μm)<0.1<0.2<0.3<0.3<0.4<0.4
Load (N)>300>400>500>1000>1500>2000

Large-diameter custom rotary tableMesa giratoria aerostática con base de acero

Large-diameter custom rotary table with steel-frame base
Steel-frame large-diameter air-bearing rotary table

Mesa giratoria aerostática de gran diámetro para ópticas de gran apertura y grandes plataformas de verificación: base de acero con giro aerostático; diámetro y carga personalizados según la pieza, material de la base opcional acero o mármol (granito).

PlatterCustomizable up to φ1000 mm
BaseSteel frame / marble (optional)
IndexingFull-circle grating ±1″

05 · Metrología de precisión

Metrología

Medición nanométrica de redondez, ondulación, coaxialidad y planitud para la aceptación en fábrica y el control de proceso en bucle cerrado.

GP326HInstrumento de medición de redondez (compatible GP316H / GP306H)

GP326H 圆度测量仪(兼容 GP316H / GP306H)
GP326H roundness measurement on site

Precisión de husillo ±0,035 μm, precisión de sistema ≤0,05 μm, resolución 0,01 μm y hasta 8192 puntos por vuelta. Mide redondez, ondulación, concentricidad, coaxialidad, paralelismo, planitud, perpendicularidad, excentricidad y excentricidad de giro; diámetro útil de mesa 200 mm (GP326H), 256 mm (GP316H) y 300 mm (GP306H), altura de medición 450 mm.

Spindle accuracy±0.035μm
System accuracy≤0.05μm
Resolution0.01μm
Sampling8192 points/rev
Full technical specifications
GP326H roundness instrument — specifications
ItemGP326HGP316HGP306H
Measured quantitiesRoundness, waviness, concentricity, coaxiality, parallelism, flatness, squareness, eccentricity, runout (identical across the three models)
Spindle accuracy±0.035 μm (all three models)
System accuracy≤0.05 μm (all three models)
Spindle speed5 r/min (all three models)
Max table load40kg60kg60kg
Effective table diameter200mm256mm300mm
Min workpiece bore3 mm (all three models)
Measuring height450 mm (all three models)
Rotary worktablePrecision levelling and centring (all three models)
Sensor traversingJoystick-controlled motorized (all three models)
Measuring range±50 μm / ±100 μm / ±400 μm (all three models)
Measuring resolution0.01 μm (all three models)
Max sampling resolution8192 points/rev (all three models)
Digital filter bands2-15, 2-50, 2-150, 2-500, 15-150, 15-250 (all three models)
Magnification400 / 1000 / 2000 / 4000 / 10,000 / 20,000 / 40,000 / 80,000 / 100,000 (all three models)
Roundness evaluationLSC, MZC, MIC, MCC (all three models)
Other functionsHarmonic analysis, slope analysis, database archiving (all three models)
Extended functionsPartial-arc roundness, motor commutator roundness, wafer-to-wafer variation (all three models)
AccessoriesPrecision three-jaw chuck, partial-arc software, commutator software (all three models)
Working air pressure0.40–0.43 MPa (all three models)
Supply air pressure0.45–0.80 MPa (all three models)
Main unit dimensions800 x 500 x 1450 mm (all three models)
Main unit weightapprox. 220 kg (all three models)

06 · Mecanizado y verificación

Mecanizado y verificación en planta

Torneado de diamante de punto único en producción y el informe de forma correspondiente: pieza de 75 mm de apertura medida con PV 0,915 / 0,430 μm y RMS 0,078 μm. Los datos de medición se entregan con cada máquina y son trazables hasta la pieza y los parámetros del proceso.

单晶金刚石刀具车削工件实拍
Single-crystal diamond arc-edge tool turning a workpiece (edge radius ≤50 nm)
面形检测报告:口径 75mm,PV 0.915/0.430μm,RMS 0.078μm
Form-measurement report: 75 mm aperture, PV 0.915 / 0.430 μm, RMS 0.078 μm

Envíenos su pieza: primero la demostramos, luego hablamos de la máquina

El sistema ultrapreciso adecuado lo deciden la forma y la rugosidad de su pieza. Muestra → informe de medición → modelo y utillaje: ese es nuestro procedimiento estándar para cada cliente. En el delta del río de las Perlas estamos en planta en 24 horas; los clientes extranjeros pueden seguir la aceptación a distancia.