Shenzhen Guangbo Luwei Innovation Technology Co., Ltd. · Merek: Guangbo Technology Node Hong Kong · Tanpa registrasi ICP · Dapat diakses global

Products & Specifications

Setiap mesin dengan foto aslinya dan spesifikasi lengkap, dalam satu halaman

Halaman ini menghimpun mesin pemesinan ultra-presisi, sistem laser dan litografi, komponen inti, serta alat ukur presisi yang ditawarkan Guangbo Technology saat ini. Setiap model dilengkapi foto mesin atau komponen, indikator utama, dan tabel data teknis dari pabrik. Nilai diambil dari dokumen teknis internal; lampiran kontrak berlaku pada saat pengiriman.

01 · Pembubutan ultra-presisi

Bubut ultra-presisi

Dari unit meja hingga pembubutan muka kelas 3,5 meter, dari substrat datar hingga roller panjang: pembubutan intan titik tunggal mencakup semua kelas permukaan ultra-presisi, simetris putar maupun tidak.

GPZ100NBubut intan titik tunggal aperture kecil

GPZ100N 小口径单点金刚石车床
Mesin lengkap GPZ100N (bubut-frais-gerinda meja)

Bubut intan ultra-presisi seukuran meja yang menggabungkan bubut, frais, dan gerinda. Dirancang untuk lensa inframerah, cermin optik, dan cetakan presisi aperture φ80–100 mm: bubut cermin, frais, dan gerinda selesai dalam satu pencekaman. Cocok untuk laboratorium dan lini produksi kecil.

Working diameter80–100mm
Surface roughnessRa ≤2nm
Form accuracyPV ≤0.02μm
Spindle speed1–100,000rpm
  • Infrared optics
  • Kedirgantaraan
  • Consumer electronics
  • Precision molds
  • Turn-mill-grind integrated
Full technical specifications
Working diameter80~100mm
Surface roughnessRa ≤ 2nm
Form accuracyPV ≤ 0.02μm
Spindle speed1~100000rpm

GPD200NBubut intan titik tunggal spindel vertikal untuk permukaan muka

GPD200N 立式端面单点金刚石车床
Mesin bubut permukaan vertikal GPD200N

Spindel vertikal dan benda kerja dicekam menghadap ke atas, untuk pembubutan muka dan permukaan lengkung tingkat nanometer pada part muka φ10–200 mm serta komponen presisi. Basis granit, skala nanometer lingkar tertutup penuh, isolasi getaran aktif, dan kendali suhu presisi; pilihan dua sumbu X/Z atau interpolasi tiga sumbu X/Z/B. Sumbu B memfiksasi titik potong dan sangat mengurangi pengaruh kesalahan busur pahat terhadap bentuk — ideal untuk asphere curam.

Max working diameterφ10–200mm
Radial / axial runout< 0.05μm
Surface roughnessRa < 10nm
Form accuracyPV < 0.3μm
  • Vertical face-turning integration
  • Three-axis fixed-point turning
  • Sub-nanometer dynamic accuracy
  • Cost 1/3–1/2 of imported equivalents
Full technical specifications
GPD200N vertical face-turning SPDT lathe — technical specifications
ParameterValue
Max working diameterφ10–200mm
Spindle rotational accuracyRadial / axial runout < 0.05 μm
Surface roughnessRa < 10nm
Form accuracyPV < 0.3μm
Axis configurationX/Z two axes or X/Z/B three axes
Machine configurationVertical face-turning structure, vertical spindle layout

GPC12100HBubut intan bidang empat sumbu · mesin ukir kisi nano

GPC12100H 平面四轴单点金刚石车床 · 纳米光栅刻划机
Mesin lengkap GPC12100H (kode tipe SPDT-4AX)

Motor linier penggerak langsung pada X/Y/Z dan motor torsi dengan indeks kontinu pada C membubut kisi serta susunan mikrostruktur periode 140–180 μm, kedalaman alur 20–50 μm langsung ke pelat nikel 1060×940 mm. Empat puluh lima sel 20×20 mm disambung tanpa celah dalam interpolasi empat sumbu untuk menghapus kesalahan akumulatif, menghasilkan cermin kelas optik dalam satu lintasan tanpa pemolesan lanjut; setelah kompensasi kelurusan orde satu dan dua, muka gelombang difraksi membaik hingga sekitar 83 nm PV.

Travel X / Y / Z1200 / 1000 / 150mm
Positioning accuracy±0.1 μm (Z axis ±0.05 μm)
Max substrate size1060×940mm
Form accuracyPV ≤0.2μm
  • Security-printing gratings
  • Spectrometer gratings
  • AR waveguide lenses
  • Microlens arrays
  • Diffractive optical elements (DOE)
Full technical specifications
GPC12100H — technical specifications
ItemSpecification
X-axis travel1200 mm, linear-motor driven, positioning accuracy ±0.1 μm
Y-axis travel1000 mm, linear-motor driven, positioning accuracy ±0.1 μm
Z-axis travel150 mm, linear-motor driven, positioning accuracy ±0.05 μm
C axisContinuous rotation, torque motor, positioning accuracy ±0.5″
Max feed rateX/Y 5000mm/min、Z 2000mm/min、C 500°/min
Minimum command unitLinear axis 0.0001 mm (0.1 μm), rotary axis 0.0001°
Interpolation cycle1ms
FieldbusEtherCAT, 250 μs cycle
Control architectureIndustrial PC + Omron or Mitsubishi PLC + linear-motor drives, three-tier distributed
WorktableGrade 00 granite, flatness ≤2 μm/m, vacuum chuck 1060 x 940 mm
ToolingNatural single-crystal diamond arc-edge tool, edge radius ≤50 nm
Cooling and lubricationMQL oil-mist cooling plus thermostatted oil cooling for spindle and guides
EnclosureFully enclosed splash guard
OptionsThermostatted humidity-controlled enclosure (20±0.5 °C, 45%±5% RH); femtosecond/picosecond dual-mode laser unit

GPH1200NBubut ukir roller ultra-presisi tipe horizontal

GPH1200N 卧式辊雕超精密车床
Bubut ukir rol horizontal (pemesinan rol panjang)

Mesin khusus tipe horizontal untuk roller dengan rasio panjang/diameter besar: panjang kerja 1200 mm, diameter Φ300 mm, berat benda kerja hingga 1 ton. Mesin membubut cermin roller cetak mikro-nano, roller induk kisi, dan roller cetak pengaman sepanjang keseluruhan dalam satu pencekaman, sehingga tidak ada bekas sambung pahat.

Working length1200mm
Working diameterΦ300mm
Workpiece weight≤1t
Surface roughnessRa ≤5nm
  • Imprint rollers
  • Grating master rollers
  • Security imprint rollers
  • High-aspect-ratio rollers

GP500NBubut intan titik tunggal ultra-presisi tipe horizontal

GP500N 超精密卧式单点金刚石车床
Bubut horizontal presisi ultra (dua sumbu X/Z, dasar granit alami)

Bubut horizontal ultra-presisi untuk permukaan datar dan bola berdiameter sedang hingga besar, maksimum Φ320 mm. Motor linier penggerak langsung X/Z, pemandu hidrostatik atau bantalan udara, serta skala nanometer lingkar tertutup penuh menjaga runout aksial dan radial spindel ≤15 nm.

Max working diameterΦ320mm
Surface roughnessRa < 1nm
X / Z positioning accuracy≤0.1μm
Spindle runout≤15nm
  • Large-aperture flats
  • Spherical and aspheric
  • Infrared windows

GP15B100HBubut nanometer ultra-presisi seukuran meja

GP15B100H 桌面级超精密纳米车床
Bubut meja presisi ultra GP15B

Bodi seukuran meja dengan presisi kelas laboratorium. Mesin menempati kurang dari satu meja laboratorium dan cocok untuk pengembangan prototipe, validasi proses, serta pembubutan nanometer batch kecil; kebutuhan ruang dan utilitas rendah sehingga cepat dipasang di laboratorium universitas dan lembaga riset.

Machine formatBenchtop
Machining accuracyNanometer-level surface
Typical usePrototyping / process validation
  • Benchtop
  • Laboratory deployment
  • Prototyping

GP3500Bubut khusus vertikal CNC ultra-presisi

Platform pembubutan muka berdiameter besar kelas 3,5 meter dengan konstruksi spindel vertikal seperti GPD200N: spindel vertikal, benda kerja menghadap ke atas, mencakup pembubutan muka tingkat nanometer untuk optik besar, part muka panel layar, dan cetakan besar.

Capacity3.5 m class diameter
StructureVertical face turning
Same-platform modelGPD200N (φ10–200 mm)
  • Large-diameter faces
  • Display panels
  • Large molds

02 · Gerinda ultra-presisi

Gerinda ultra-presisi

Gerinda datar spindel vertikal dan meja putar serta penipisan wafer: gerinda cermin untuk material keras-getas dan penipisan substrat semikonduktor.

GM3207BMesin gerinda permukaan ultra-presisi spindel vertikal meja putar (gerinda bantalan udara)

GM3207B 超精密立轴转台平面研磨机(气浮磨床)
Gerinda bantalan udara GM3207B, mesin lengkap

Mesin gerinda permukaan ultra-presisi berkonstruksi spindel vertikal dan meja putar: runout aksial meja 0,000050 mm, permukaan hasil gerinda Ra 0,05 μm, presisi putar meja 0,05 μm (50 nanometer). Cocok untuk gerinda cermin material keras-getas — keramik, kaca, safir, karbida semen, dan substrat semikonduktor — dengan kecepatan meja stepless 0,000001–30.000 rpm dan beban 0,1–500 kg.

Max grinding sizeφ320–350mm
Rotational accuracy0.05μm(50nm)
Surface roughnessRa 0.05μm
Table axial runout0.000050mm
  • Hard and brittle materials
  • Ceramics / glass / sapphire
  • Semiconductor substrates
  • Mirror grinding
Full technical specifications
GM3207B — main technical specifications
ItemSpecification
Max grinding size (diameter x height)320~350mm
Worktable swing diameter320mm
Surface roughnessRa 0.05μm
Rotational accuracy0.05 μm (50 nm)
Parallelism of machined face to base0.01mm/500mm
Worktable spindle speed0.000001–30,000 r/min (stepless)
Turntable load0.1~500kg
Direct-drive motor power (Y55M-4)4 kW (three-phase induction)
Air pump pressure0.3–0.6 MPa (3-stage filtration)
Worktable feed rate (optional vertical mode)0.5 m/min (servo controlled)
Machine dimensions1200 (L) x 800 (W) x 760 (H) mm
Total weight500kg
Total power4kW
GM3207B — factory accuracy inspection record
ItemSpecification
Worktable flatness0.001 mm (concave only)
Worktable axial runout0.000050mm
Grinding-spindle axial play0.001mm
Grinding-spindle centering runout0.001mm
Parallelism of finished test piece to its base0.001 mm (test piece 100 ≤ d ≤ D/10, h ≥ 60; sapphire, unhardened)
GM3207B — operating environment
ItemSpecification
Power supply380V±10%、50Hz±3%
Total power4kW
Ambient temperature5~60℃
Ambient humidity30%~65%
Noise level≤30dB

GM3207B-ICKonfigurasi khusus penipisan wafer (dapat disesuaikan)

GM3207B-IC 晶圆减薄专用配置(可定制)
Wafer thinning on site

Berbasis GM3207B dengan antarmuka cleanroom khusus IC, sistem cairan pendingin terpisah, dan pengukuran in-line, untuk penipisan sisi belakang wafer hingga 12 inci: wafer dapat ditipiskan di bawah 100 μm, meja Φ320 mencakup 12 inci, permukaan Ra 0,05 μm, runout aksial meja 0,000050 mm.

Thinned thickness< 100μm
Table diameterφ320 (covers 12-inch)
Surface roughnessRa 0.05μm
Table axial runout0.000050mm
  • Wafer thinning
  • 12-inch compatible
  • Cleanroom interface
  • Dedicated coolant
Full technical specifications
GM3207B-IC — main technical specifications
ItemSpecification
Max grinding size (diameter x height)320~350mm
Worktable swing diameter320mm
Surface roughnessRa 0.05μm
Rotational accuracy0.05 μm (50 nm)
Parallelism of machined face to base0.01mm/500mm
Worktable spindle speed0.000001–30,000 r/min (stepless)
Turntable load0.1~500kg
Direct-drive motor power (Y55M-4)4 kW (three-phase induction)
Air pump pressure0.3–0.6 MPa (3-stage filtration)
Worktable feed rate (optional vertical mode)0.5 m/min (servo controlled)
Machine dimensions1200 (L) x 800 (W) x 760 (H) mm
Total weight500kg
Total power4kW

03 · Laser dan litografi

Laser dan litografi

Eksposur interferensi DUV menulis struktur periode nanometer secara langsung — jalur kedua pembuatan kisi selain pengukiran mekanis.

GPSZWBG-01ASistem litografi interferensi DUV tanpa masker

GPSZWBG-01A 深紫外(DUV)无掩膜干涉曝光刻机
DUV interference lithography system on site

Interferensi multi-berkas laser excimer ArF (193 nm) mengekspos fajar periode nanometer secara langsung tanpa masker fotolitografi konvensional: lebar garis ≤55 nm, periode kisi linier ≤120 nm, wafer 4 inci, luas pola efektif ≥94 mm, keseragaman intensitas ≤2 %, dan akurasi penyelarasan ≤0,8 μm. Mengganti pola hanya perlu mengubah jalur optik dan masker fase — tidak perlu set masker krom baru.

Light sourceArF excimer, 193 nm
Wafer size4 inch
Feature linewidth≤55nm
Grating period≤120nm
  • Diffraction grating fabrication
  • Semiconductor processes
  • Research metrology
  • Phase masks
Full technical specifications
GPSZWBG-01A — technical specifications
ItemSpecification
1. Laser lithography main system
Light sourceArF excimer laser
Wafer size4 inch
Effective pattern area≥94mm
Intensity uniformity≤2%
Alignment accuracy≤0.8μm
Beam size≥110mm
Line-grating duty cycle25%~55%
Feature linewidth≤55nm
2. Standard process
Exposed linear grating period≤120nm
Effective pattern-area diameter≥95mm
3. High-precision phase mask
Phase-mask specification0.08 μm / 300 nm / 200 nm, three grades
4. Nanometer displacement measurement system
Sensor resolution≤4nm
Max working distance≥0.5m
Axes3 axes
Bandwidth≥1MHz
5. Optical fine-alignment stage
Coarse-stage resolution≤2μm
Repeatability≤2μm
Travel≥10mm
Interferometric grating resolution≤5nm

04 · Komponen inti

Komponen inti

Spindel, pemandu, dan meja putar bantalan udara: presisi mesin ditentukan oleh komponen ini, dan juga dipasok terpisah. Semua komponen dirancang dan diproduksi sendiri serta dapat disesuaikan menurut langkah, beban, kecepatan, dan kelas presisi.

Mengapa komponen yang dikembangkan sendiri penting

自研核心部件的意义
Air-bearing spindles and rotary tables set the accuracy of the whole machine

Bentuk akhir permukaan hasil bubut intan ditentukan oleh presisi putar spindel dan kelurusan pemandu. Guangbo Technology membuat sendiri seluruh spindel, pemandu, dan meja putar bantalan udara: mesin dan komponen berasal dari satu sumber, rantai presisi tidak mengandung "kotak hitam" pihak ketiga, dan pelanggan dapat membeli komponen terpisah sebagai pengganti unit impor.

In-houseSpindles / guides / rotary tables
SupplyComplete machines and components sold separately
CustomizationTravel / load / speed / accuracy

Spindel motor bantalan udara (6 seri / 7 model)

GP13364 / GP13364CSpindel bantalan udara (didukung dan digerakkan udara)

GP13364 / GP13364C 气浮主轴(空气支撑 + 空气驱动)
GP13364 series air-bearing spindle (ER11 collet end)

Spindel bantalan udara berkecepatan tinggi, didukung dan digerakkan udara: 0,1–120.000 rpm, runout dinamis maksimum DRO 0,1 μm pada 300 rpm, deviasi radial sinkron <1 μm dan tidak sinkron <0,25 μm, dengan kolek ER11 penyetel sendiri hingga 6,35 mm.

Speed range0.1–120,000rpm
Max dynamic runout0.1μm@300rpm
Synchronous radial deviation<1μm
Clamping diameter6.35mm(ER11)
Full technical specifications
Technical specifications
ParameterValue
ModelGP13364 / GP13364C
Drive typeAir-support + air-drive
Speed range0.1–120,000 rpm (encoder optional)
Max dynamic runout (DRO)0.1μm@300rpm
Synchronous radial deviation<1μm
Asynchronous radial deviation<0.25μm
Max clamping diameter6.35 mm (ER11 self-centering collet)
Air supply pressure0.4~0.6MPa
Air consumption90 nl/min static, 60 nl/min dynamic
Max axial impact force5kg
Collet torqueMax 0.3 kg
Speed sensorStandard
Weightapprox. 3.6 kg

GP6212-H10Spindel motor bantalan udara (200.000 rpm)

GP6212-H10 空气电主轴(200,000rpm)
GP6212-H10 high-speed air-bearing motor spindle

Spindel motor bantalan udara hingga 200.000 rpm. Hasil ukur pabrik: free play aksial 5 μm, deviasi statis ≤1 μm, deviasi dinamis ≤6 μm, dan keterkaitan kolek 99 % — presisi statis dan dinamis lebih baik dari nilai nominal.

Max speed200,000rpm
Static deviation≤1μm
Dynamic deviation≤6μm
Collet engagement rate99%
Full technical specifications
GP6212-H10 measured vs. rated values
ParameterMeasuredRated
Max speed200,000rpm—
Axial float5μm≤20μm
Static deviation≤1μm≤2μm
Dynamic deviation≤6μm<9μm
Collet torque≥620g≥600g
Collet engagement rate99%98~100%
Release air pressure3.2kg/cm²below 5
Clamping air pressure2.6kg/cm²≥3.0
Three-phase impedance2.3±0.1Ω2.3±0.2Ω
Insulation withstand voltage1500V≥1500V
Drive current3.6A3.6±0.1A

GPZ6220HSpindel motor bantalan udara performa tinggi (300.000 rpm)

GPZ6220H 高性能空气支撑电主轴(30 万转)
GPZ6220H high-speed air-bearing motor spindle

1–300.000 rpm, pengeboran 0,05 hingga 6,35 mm; keluaran kontinu 750 W, disipasi berpendingin air 700 W, sensor kecepatan reluktansi/TTL — untuk pengeboran lubang mikro dan penggerindaan pahat mikro.

Speed range1–300,000rpm
Min hole diameter0.05mm
Output power750 W continuous
Max dynamic runout3μm@300,000rpm
Full technical specifications
Technical specifications
ParameterValue
Speed range1~300,000rpm
Min hole diameter0.05 mm (1/8 inch = 3.175 mm shank)
Max hole diameter6.35 mm (1/4 inch)
Bearing air supply pressure0.6MPa
Air consumption90 nl/min static, 60 nl/min dynamic
Max dynamic runout (DRO)3μm@300,000rpm
Max axial impact force20kg
Collet radial breakaway impact force7kg@300,000rpm
Motor output power750 W continuous
Input voltagemax 220 V
CoolingWater-cooled, 700 W heat dissipation, 1.4 l/min
Collet torqueMax 0.3 kg
Speed sensorReluctance / TTL
Weightapprox. 2.6 kg

GBH-248150BP / SFSpindel motor bantalan udara beban tinggi

GBH-248150BP / SF 大承载气浮电主轴
GBH-248150 series high-load motor spindle

Presisi putar radial dan aksial keduanya ≤0,05 μm, daya 0,5–6 kW, kapasitas beban radial dan aksial di atas 40 kg (dapat disesuaikan), pendinginan udara atau air — untuk gerinda presisi beban berat dan komponen optik besar.

Rotational accuracy≤0.05 μm (radial / axial)
Power options0.5–6kW
Load capacity>40 kg (customizable)
CoolingAir / water cooling
Full technical specifications
Technical specifications
ParameterValue
Standard modelsGBH-248150BP (inverter motor) / GBH-248150SF (servo motor)
Radial rotational accuracy≤0.05μm
Axial rotational accuracy≤0.05μm
Power options0.5~6kW
Speed1 / 3000 / 10,000 rpm steps
Radial load capacityover 40 kg (customizable)
Axial load capacityover 40 kg (customizable)
Air supply pressure0.4~0.6MPa
Cooling methodAir / water cooling

GPZ65I95ESpindel motor kecepatan tinggi (φ65 x 195)

GPZ65I95E 高速电主轴(φ65×195)
GPZ65I95E high-speed motor spindle

800 W pada 220 V, kecepatan stepless 0–24.000 rpm, kolek ER11 untuk tangkai 1–7 mm, bodi Ø65 mm panjang 195 mm, bagian kolek 35 mm, bobot bersih 2,8 kg. Pelumasan gemuk dan berpendingin air; memerlukan inverter.

Power800W(220V)
Speed0–24,000rpm
ColletER11 / 1–7mm
Dimensionsφ65 × 195mm
Full technical specifications
Technical specifications
ParameterValue
ModelGPZ65I95E
Power800W(220V)
Current5A
Frequency400Hz(0~400)
SpeedStepless, 0–24,000 rpm
Cooling methodWater-cooled
ColletER11, tool shank 1–7 mm
LubricationGrease lubrication
Dimensionsφ65 mm, 195 mm long, collet section 35 mm
Net weight2.8kg
Operating requirementsRequires a VFD; do not connect directly to mains
WarrantyOne-year warranty

GPZ120135349H6Spindel motor bor-frais kecepatan tinggi (tiga rating)

GPZ120135349H6 高速钻铣电主轴(三款规格)
GPZ120135349H6 ultra-precision drilling/milling spindle motor

Spindel motor bor-frais kecepatan tinggi dalam tiga rating 6,00 / 5,50 / 4,50 kW, semuanya 380 V, 18.000 rpm, runout 0,1 μm, ujung spindel ER32, proteksi IP54, berpendingin udara, ganti pahat manual.

Rated power6.00 / 5.50 / 4.50kW
Rated speed18,000 r/min
Rotational runout0.1μm
Spindle interfaceER32
Full technical specifications
GPZ120135349H6 — comparison of three ratings
Specification6.00-ER32F5.50-ER32TW4.50-ER32TF
Rated power6.00 kW5.50 kW4.50 kW
Runout accuracy0.1UM0.1UM0.1UM
Rated voltage380V380V380V
Rated frequency600Hz600Hz300Hz
Rated speed18000 r/min18000 r/min18000 r/min
Poles4P4P4P
Rated current12.60A12.20A9.50A
Rated torque3.18 N·m2.90 N·m2.38 N·m
Power factor0.810.810.81
Protection classIP54IP54IP54
Cooling methodAir-cooledAir-cooledAir-cooled
Tool changeManualManualManual
Spindle interfaceER32F (right-hand thread)ER32TW (optional)ER32TF (optional)
Nanometer air-bearing components — model selection
No.Size ID x OD x length (mm)Graphite OD (mm)Load (g)Support and driveRunout (μm)Max speed (rpm)
01Φ3×φ6×10Φ4.520Air-bearing + aerodynamic0.05260000
02Φ6×φ10×30Φ840Air-bearing + aerodynamic0.05220000
03φ9×φ20×40Φ1560Air-bearing + aerodynamic0.05180000
04Φ15×φ30×50Φ2090Air-bearing + aerodynamic0.05120000
05Φ20×φ35×70Φ25190Air-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.1120000
06Φ30×φ45×75Φ35320Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.1100000
07Φ35×φ55×80Φ42400Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.2100000
08φ45×φ65×120Φ50650Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.280000
09φ55×φ65×150Φ58950Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.280000
10φ65×φ95×180Φ753200Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.580000
11φ75×φ105×200Φ854000Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.570000

Pemandu udara dan stage presisi

Seri GPD-80 DPemandu bantalan udara (poros silindris + carriage udara)

GPD-80 D 系列 气浮导轨(圆柱轴 + 气浮滑座)
D-series air-bearing guide and slide

Poros silindris dengan carriage bantalan udara, konfigurasi satu atau dua carriage: akurasi posisi ≤0,1 μm, akurasi perpindahan ±0,2–0,5 μm, kekakuan 8 kg/μm, akselerasi maksimum 5G, beban radial 0,1–600 kg, langkah 500–2000 mm dalam 11 tingkat standar dan dapat disesuaikan hingga 4000 mm.

Positioning accuracy≤0.1μm
Guide stiffness8kg/μm
Radial load capacity0.1–600kg
Max acceleration5G
Full technical specifications
D-series air-bearing guide — general specifications
ParameterValue
ModelGPD-80 type (coded by travel and slide OD, e.g. GP D50045G)
StructureCylindrical shaft + air-bearing slide (single or dual slide)
Air supply pressure0.4~0.6MPa
Positioning accuracy≤0.1μm
Displacement accuracy±0.2~0.5μm
Guide stiffness8kg/μm
Max acceleration5G
Radial load capacity0.1–600 kg (customizable)
Protection classIP40 / IP50
Operating temperature0~40℃
OrientationHorizontal or vertical
Service lifeOver 10 years
D-series air-bearing guide — selection table
No.Size ID x OD x length (mm)Slide ID (mm)Load (g)Slide OD (mm)Max speed (m/s)
1φ19×φ25×500φ19~φ252000φ39~φ4530
2φ29×φ35×700φ29~φ354000φ49~φ5525
3φ39×φ45×1000φ39~φ456000φ59~φ6520
4φ45×φ55×1200φ45~φ556500φ65~φ758
5φ49×φ55×1200φ49~φ559000φ69~φ7518
6φ55×φ65×1500φ55~φ659500φ75~φ856
7φ59×φ65×1500φ59~φ6519000φ79~φ8515
8φ65×φ75×1800φ65~φ7532000φ85~φ955
9φ69×φ75×1800φ69~φ7532000φ89~φ9512
10φ75×φ85×2000φ75~φ8540000φ95~φ1055
11φ79×φ85×2000φ79~φ8540000φ99~φ10510

GP-YN2020Stage nanometer aerostatik dua lapis langkah pendek

GP-YN2020 双层气浮静压纳米级小行程滑台
GP-YN2020 dual-layer XY air-bearing stage

Stage presisi langkah pendek dengan dukungan aerostatik dua lapis: posisi lingkar tertutup ±50 nm, pengulangan ±20 nm, kenaikan terkecil 1 nm, kelurusan dan kerataan gerak ≤0,1 μm/25 mm, celah udara non-kontak 8–15 μm, dengan skala nanometer resolusi 0,1 nm / 1 nm.

Positioning accuracy±50 nm (closed loop)
Repeatability±20nm
Min step1nm
Air gap8–15μm
Full technical specifications
GP-YN2020 dual-layer aerostatic stage — specifications
ParameterValue
ModelGP-YN2020 (dual-layer aerostatic nanometer short-travel stage)
TravelX/Y 200 x 200 mm (10–100 mm customizable)
Positioning accuracy±50 nm (closed loop)
Repeatability±20nm
Min step increment1nm
Motion straightness≤0.1μm/25mm
Flatness≤0.1μm/25mm
Max load (horizontal)5 kg (higher on request)
Max speed20mm/s
Air supply pressure0.45–0.6 MPa (dry clean air or N2)
Air gap8–15 μm (non-contact)
Feedback sensorNanometer grating scale, 0.1 nm or 1 nm resolution
Body materialAluminium alloy / Invar / ceramic (optional)
Operating temperature20±0.5℃
Cleanliness classISO Class 3 or better; vacuum-compatible version optional

Air-bearing rotary table

ABR standard seriesMeja putar bantalan udara (φ120–φ300)

ABR 标准系列 气浮转台(φ120–φ300)
ABR series air-bearing rotary table platter

Seri standar ABR mencakup enam ukuran meja dari φ120 hingga φ300 mm dengan runout aksial <0,1–0,3 μm, runout radial <0,1–0,4 μm, beban 300–2000 N, serta indeks sudut penuh dengan skala melingkar lebih baik dari ±1″. Di atas φ300 mm, meja dibuat sesuai pesanan hingga φ1000 mm.

Table diameterφ120–φ300
Axial runout<0.1–0.3μm
Radial runout<0.1–0.4μm
Load capacity300–2000N
Full technical specifications
ABR standard series — selection table
ParameterABR-120MABR-150MABR-170MABR-200MABR-250MABR-300M
Platter diameter (mm)φ120φ150φ170φ200φ250φ300
Axial runout (μm)<0.1<0.1<0.18<0.15<0.25<0.3
Radial runout (μm)<0.1<0.2<0.3<0.3<0.4<0.4
Load (N)>300>400>500>1000>1500>2000

Large-diameter custom rotary tableMeja putar bantalan udara berbasis rangka baja

Large-diameter custom rotary table with steel-frame base
Steel-frame large-diameter air-bearing rotary table

Meja putar bantalan udara berdiameter besar untuk optik aperture besar dan platform pengukuran besar: rangka baja dengan rotasi aerostatik, diameter meja dan beban disesuaikan dengan ukuran benda kerja; material alas opsional rangka baja atau marmer (granit).

PlatterCustomizable up to φ1000 mm
BaseSteel frame / marble (optional)
IndexingFull-circle grating ±1″

05 · Metrologi presisi

Metrologi

Pengukuran tingkat nanometer untuk kebulatan, kemiripan gelombang, kosentrisitas, dan kerataan guna penerimaan pabrik dan kendali proses lingkar tertutup.

GP326HAlat ukur kebulatan (kompatibel GP316H / GP306H)

GP326H 圆度测量仪(兼容 GP316H / GP306H)
GP326H roundness measurement on site

Presisi spindel ±0,035 μm, presisi sistem ≤0,05 μm, resolusi 0,01 μm, hingga 8192 titik per putaran. Mengukur kebulatan, kemiripan gelombang, kosentrisitas, koaksialitas, kesejajaran, kerataan, ketegaklurusan, eksentrisitas, dan runout; diameter meja efektif 200 mm (GP326H), 256 mm (GP316H), 300 mm (GP306H), tinggi pengukuran 450 mm.

Spindle accuracy±0.035μm
System accuracy≤0.05μm
Resolution0.01μm
Sampling8192 points/rev
Full technical specifications
GP326H roundness instrument — specifications
ItemGP326HGP316HGP306H
Measured quantitiesRoundness, waviness, concentricity, coaxiality, parallelism, flatness, squareness, eccentricity, runout (identical across the three models)
Spindle accuracy±0.035 μm (all three models)
System accuracy≤0.05 μm (all three models)
Spindle speed5 r/min (all three models)
Max table load40kg60kg60kg
Effective table diameter200mm256mm300mm
Min workpiece bore3 mm (all three models)
Measuring height450 mm (all three models)
Rotary worktablePrecision levelling and centring (all three models)
Sensor traversingJoystick-controlled motorized (all three models)
Measuring range±50 μm / ±100 μm / ±400 μm (all three models)
Measuring resolution0.01 μm (all three models)
Max sampling resolution8192 points/rev (all three models)
Digital filter bands2-15, 2-50, 2-150, 2-500, 15-150, 15-250 (all three models)
Magnification400 / 1000 / 2000 / 4000 / 10,000 / 20,000 / 40,000 / 80,000 / 100,000 (all three models)
Roundness evaluationLSC, MZC, MIC, MCC (all three models)
Other functionsHarmonic analysis, slope analysis, database archiving (all three models)
Extended functionsPartial-arc roundness, motor commutator roundness, wafer-to-wafer variation (all three models)
AccessoriesPrecision three-jaw chuck, partial-arc software, commutator software (all three models)
Working air pressure0.40–0.43 MPa (all three models)
Supply air pressure0.45–0.80 MPa (all three models)
Main unit dimensions800 x 500 x 1450 mm (all three models)
Main unit weightapprox. 220 kg (all three models)

06 · Pemesinan dan pengukuran

Pemesinan dan pengukuran di lantai produksi

Pembubutan intan titik tunggal di produksi dan laporan pengukuran bentuk terkait: benda kerja aperture 75 mm terukur PV 0,915 / 0,430 μm, RMS 0,078 μm. Data pengukuran dikirim bersama setiap mesin dan dapat dilacak hingga benda kerja serta parameter proses.

单晶金刚石刀具车削工件实拍
Single-crystal diamond arc-edge tool turning a workpiece (edge radius ≤50 nm)
面形检测报告:口径 75mm,PV 0.915/0.430μm,RMS 0.078μm
Form-measurement report: 75 mm aperture, PV 0.915 / 0.430 μm, RMS 0.078 μm

Kirimkan benda kerja Anda — kami buktikan lewat sampel dulu, baru bicara mesin

Sistem ultra-presisi yang tepat ditentukan oleh bentuk dan kekasaran benda kerja Anda. Sampel → laporan pengukuran → model dan pencekam: itulah jalur standar kami bagi setiap pelanggan. Di Delta Sungai Mutiara kami tiba di lokasi dalam 24 jam; pelanggan luar negeri dapat mengikuti penerimaan secara jarak jauh.