Каждый станок с фотографией и полными характеристиками — на одной странице

Настольный ультрапрецизионный алмазный станок, объединяющий точение, фрезерование и шлифование. Рассчитан на ИК-линзы, оптические зеркала и прецизионные пресс-формы диаметром φ80–100 мм: зеркальное точение, фрезерование и шлифование за один установ. Подходит для лабораторий и небольших производственных линий.

• Infrared optics
• Авиакосмос
• Consumer electronics
• Precision molds
• Turn-mill-grind integrated

Вертикальная компоновка шпинделя, деталь торцом вверх, для нанометрового точения торцов и криволинейных поверхностей деталей φ10–200 мм. Гранитное основание, полностью замкнутая нанометровая линейка, активная виброизоляция и точный термоконтроль; возможны две оси X/Z или трёхосевая интерполяция X/Z/B. Ось B фиксирует точку резания и заметно снижает влияние радиуса инструмента на форму — идеально для крутых асферик.

• Vertical face-turning integration
• Three-axis fixed-point turning
• Sub-nanometer dynamic accuracy
• Cost 1/3–1/2 of imported equivalents

Прямые линейные двигатели по X/Y/Z и моментный двигатель непрерывного деления по C нарезают решётки и массивы микроструктур с периодом 140–180 мкм и глубиной канавки 20–50 мкм непосредственно в никелевых пластинах 1060×940 мм. Сорок пять ячеек 20×20 мм бесшовно стыкуются при четырёхосевой интерполяции, что устраняет накопленную ошибку, и за один проход получается зеркало оптического класса без доводки; после компенсации прямолинейности первого и второго порядка волновой фронт дифракции улучшается примерно до PV 83 нм.

• Security-printing gratings
• Spectrometer gratings
• AR waveguide lenses
• Microlens arrays
• Diffractive optical elements (DOE)

Специализированный горизонтальный станок для валков с большим отношением длины к диаметру: длина обработки 1200 мм, диаметр Φ300 мм, масса детали до 1 т. Выполняет зеркальное точение валков микро- и нанопечати, мастер-валков решёток и защитных валков за один установ по всей длине, без следов от переустановки.

• Imprint rollers
• Grating master rollers
• Security imprint rollers
• High-aspect-ratio rollers

Ультрапрецизионный горизонтальный станок для плоских и сферических поверхностей среднего и большого диаметра до Φ320 мм. Прямые линейные двигатели X/Z, гидростатические или аэростатические направляющие и замкнутая нанометровая линейка удерживают торцевое и радиальное биение шпинделя в пределах ≤15 нм.

• Large-aperture flats
• Spherical and aspheric
• Infrared windows

Настольный корпус с лабораторной точностью. Станок занимает меньше одного лабораторного стола и подходит для изготовления образцов, отработки технологии и мелкосерийного нанометрового точения; низкие требования к площадке и коммуникациям позволяют быстро развернуть его в вузах и институтах.

• Benchtop
• Laboratory deployment
• Prototyping

Ультрапрецизионный плоскошлифовальный станок с вертикальным шпинделем и поворотным столом: торцевое биение стола 0,000050 мм, шероховатость обработанной поверхности Ra 0,05 мкм, точность вращения стола 0,05 мкм (50 нм). Предназначен для зеркального шлифования твёрдых и хрупких материалов — керамики, стекла, сапфира, твёрдого сплава и полупроводниковых подложек; бесступенчатая частота вращения стола 0,000001–30 000 об/мин, нагрузка 0,1–500 кг.

• Hard and brittle materials
• Ceramics / glass / sapphire
• Semiconductor substrates
• Mirror grinding

На базе GM3207B добавлены специализированный чистый интерфейс для ИС, отдельная система СОЖ и встроенный контроль — для утонения пластин с обратной стороны до 12 дюймов: толщина менее 100 мкм, стол Φ320 охватывает 12 дюймов, шероховатость Ra 0,05 мкм, торцевое биение стола 0,000050 мм.

• Wafer thinning
• 12-inch compatible
• Cleanroom interface
• Dedicated coolant

Многолучевая интерференция эксимерного ArF-лазера (193 нм) экспонирует нанометровые полосы напрямую, без классического фотошаблона: ширина элемента ≤55 нм, период линейной решётки ≤120 нм, пластины 4 дюйма, полезная площадь рисунка ≥94 мм, неравномерность интенсивности ≤2 %, точность совмещения ≤0,8 мкм. Для смены рисунка достаточно изменить оптический тракт и фазовую маску — новый комплект хромовых шаблонов не нужен.

• Diffraction grating fabrication
• Semiconductor processes
• Research metrology
• Phase masks

Итоговую форму алмазно-точеной поверхности определяют точность вращения шпинделя и прямолинейность направляющих. Guangbo Technology сама изготовляет аэростатические шпиндели, направляющие и поворотные столы: станок и узел имеют один источник, в размерной цепи нет покупных «чёрных ящиков», а заказчик может приобрести узлы отдельно как замену импортных.

Высокоскоростной аэростатический шпиндель с воздушной опорой и воздушным приводом: 0,1–120 000 об/мин, максимальное динамическое биение DRO 0,1 мкм при 300 об/мин, синхронное радиальное отклонение <1 мкм, асинхронное <0,25 мкм, самоцентрирующийся патрон ER11 до 6,35 мм.

Электрошпиндель с максимальной частотой 200 000 об/мин. Заводские измерения: осевой люфт 5 мкм, статическое отклонение ≤1 мкм, динамическое отклонение ≤6 мкм, замыкание цанги 99 % — статическая и динамическая точность лучше номинала.

1–300 000 об/мин, сверление от 0,05 до 6,35 мм; 750 Вт длительной мощности, 700 Вт отводится водяным охлаждением, датчик частоты вращения магниторезисторный/TTL — для микросверления и шлифования микроинструмента.

Радиальная и осевая точность вращения ≤0,05 мкм, мощность 0,5–6 кВт, радиальная и осевая нагрузка более 40 кг (по заказу), воздушное или водяное охлаждение — для тяжёлого прецизионного шлифования и крупных оптических деталей.

800 Вт при 220 В, бесступенчато 0–24 000 об/мин, цанга ER11 под хвостовики 1–7 мм, корпус Ø65 мм длиной 195 мм, цанговый узел 35 мм, масса нетто 2,8 кг. Консистентная смазка, водяное охлаждение; требуется преобразователь частоты.

Высокоскоростной сверлильно-фрезерный электрошпиндель в трёх исполнениях 6,00 / 5,50 / 4,50 кВт, все на 380 В, 18 000 об/мин, биение 0,1 мкм, конец шпинделя ER32, защита IP54, воздушное охлаждение, ручная смена инструмента.

Цилиндрическая штанга с аэростатической кареткой, в одно- или двухкаретном исполнении: точность позиционирования ≤0,1 мкм, точность перемещения ±0,2–0,5 мкм, жёсткость 8 кг/мкм, максимальное ускорение 5G, радиальная нагрузка 0,1–600 кг, ход 500–2000 мм по 11 стандартным ступеням, по заказу до 4000 мм.

Прецизионный стол малого хода с двухслойной аэростатической опорой: позиционирование в замкнутом контуре ±50 нм, повторяемость ±20 нм, минимальный шаг 1 нм, прямолинейность и плоскостность ≤0,1 мкм на 25 мм, бесконтактный зазор 8–15 мкм, нанометровая линейка 0,1 нм / 1 нм.

Стандартная серия ABR охватывает шесть размеров стола от φ120 до φ300 мм с осевым биением <0,1–0,3 мкм, радиальным <0,1–0,4 мкм и нагрузкой 300–2000 Н, с круговой линейкой и делением лучше ±1″. Свыше φ300 мм столы изготовляются по заказу до φ1000 мм.

Крупногабаритный аэростатический поворотный стол для оптики большой апертуры и больших измерительных платформ: стальная рама и аэростатическое вращение; диаметр стола и нагрузка — по размерам детали, материал основания на выбор — стальная рама или мрамор (гранит).

Точность шпинделя ±0,035 мкм, точность системы ≤0,05 мкм, разрешение 0,01 мкм, до 8192 точек за оборот. Измеряет круглость, волнистость, концентричность, соосность, параллельность, плоскостность, перпендикулярность, эксцентриситет и биение; полезный диаметр стола 200 мм (GP326H), 256 мм (GP316H), 300 мм (GP306H), высота измерения 450 мм.