Shenzhen Guangbo Luwei Innovation Technology Co., Ltd. · แบรนด์: Guangbo Technology โหนดฮ่องกง · ไม่ต้องจดทะเบียน ICP · เข้าถึงได้ทั่วโลก

Products & Specifications

ภาพเครื่องจริงและสเปกครบทุกเครื่อง รวมไว้ในหน้านี้

หน้านี้รวมเครื่องจักรกลึงและกัดความละเอียดสูง ระบบเลเซอร์และลิโธกราฟี ชิ้นส่วนหลัก และเครื่องวัดความแม่นยำที่ Guangbo Technology จำหน่ายอยู่ในปัจจุบัน แต่ละรุ่นมีภาพถ่ายเครื่องหรือชิ้นส่วน ตัวชี้วัดหลัก และตารางสเปกทางเทคนิคจากโรงงาน ค่าต่าง ๆ มาจากเอกสารทางเทคนิคภายใน และภาคผนวกสัญญาใช้บังคับในการส่งมอบ

01 · การกลึงความละเอียดสูง

งานกลึงความละเอียดสูง

ตั้งแต่เครื่องตั้งโต๊ะจนถึงการกลึงหน้าตัดระดับ 3.5 เมตร จากแผ่นรองรับแบนราบจนถึงลูกกลิ้งยาว: การกลึงเพชรจุดเดียวครอบคลุมพื้นผิวความละเอียดสูงทุกระดับ ทั้งสมมาตรแบบหมุนและไม่สมมาตร

GPZ100Nเครื่องกลึงเพชรจุดเดียวสำหรับรูรับแสงเล็ก

GPZ100N 小口径单点金刚石车床
เครื่อง GPZ100N ทั้งชุด (กลึง-กัด-เจียรตั้งโต๊ะ)

เครื่องกลึงเพชรความละเอียดสูงแบบตั้งโต๊ะที่รวมการกลึง การกัด และการเจียรนัยไว้ด้วยกัน ออกแบบสำหรับเลนส์อินฟราเรด กระจกออปติก และแม่พิมพ์ความแม่นยำขนาด φ80–100 มม. กลึงผิวกระจก การกัด และการเจียรนัยเสร็จในการจับยึดครั้งเดียว เหมาะกับห้องปฏิบัติการและสายการผลิตขนาดเล็ก

Working diameter80–100mm
Surface roughnessRa ≤2nm
Form accuracyPV ≤0.02μm
Spindle speed1–100,000rpm
  • Infrared optics
  • การบินและอวกาศ
  • Consumer electronics
  • Precision molds
  • Turn-mill-grind integrated
Full technical specifications
Working diameter80~100mm
Surface roughnessRa ≤ 2nm
Form accuracyPV ≤ 0.02μm
Spindle speed1~100000rpm

GPD200Nเครื่องกลึงเพชรจุดเดียวแบบสปินเดิลตั้งสำหรับหน้าตัด

GPD200N 立式端面单点金刚石车床
เครื่องกลึงหน้าตัดแนวตั้ง GPD200N

สปินเดิลวางตั้งและจับชิ้นงานหันหน้าขึ้น สำหรับการกลึงหน้าตัดและผิวโค้งระดับนาโนเมตรของชิ้นงานหน้าตัดขนาด φ10–200 มม. และชิ้นส่วนความแม่นยำ ฐานหินแกรนิต สเกลนาโนแบบวงปิดเต็ม ระบบกันสั่นแบบแอคทีฟ และควบคุมอุณหภูมิแม่นยำ เลือกได้ระหว่างสองแกน X/Z หรืออินเตอร์โพเลชันสามแกน X/Z/B แกน B ตรึงจุดตัดและลดผลของความคลาดของรัศมีดอกตัดต่อรูปทรงได้อย่างชัดเจน เหมาะกับพื้นผิวแอสเฟียร์ที่ชัน

Max working diameterφ10–200mm
Radial / axial runout< 0.05μm
Surface roughnessRa < 10nm
Form accuracyPV < 0.3μm
  • Vertical face-turning integration
  • Three-axis fixed-point turning
  • Sub-nanometer dynamic accuracy
  • Cost 1/3–1/2 of imported equivalents
Full technical specifications
GPD200N vertical face-turning SPDT lathe — technical specifications
ParameterValue
Max working diameterφ10–200mm
Spindle rotational accuracyRadial / axial runout < 0.05 μm
Surface roughnessRa < 10nm
Form accuracyPV < 0.3μm
Axis configurationX/Z two axes or X/Z/B three axes
Machine configurationVertical face-turning structure, vertical spindle layout

GPC12100Hเครื่องกลึงเพชรจุดเดียวแบบระนาบสี่แกน · เครื่องขีดเกรตติงนาโน

GPC12100H 平面四轴单点金刚石车床 · 纳米光栅刻划机
เครื่อง GPC12100H ทั้งชุด (รหัสรุ่น SPDT-4AX)

มอเตอร์เชิงเส้นขับตรงบน X/Y/Z และมอเตอร์ทอร์กแบ่งมุมต่อเนื่องบน C กลึงเกรตติงและอาร์เรย์ไมโครสตรักเจอร์คาบ 140–180 μm ลึกร่อง 20–50 μm ได้โดยตรงลงบนแผ่นนิกเกิล 1060×940 มม. เซลล์ 45 เซลล์ขนาด 20×20 มม. ถูกต่อกันอย่างไร้รอยต่อด้วยอินเตอร์โพเลชันสี่แกนเพื่อล้างความคลาดสะสม ได้ผิวกระจกระดับออปติกในการผ่านเดียวโดยไม่ต้องขัดเพิ่ม หลังชดเชยความตรงลำดับที่หนึ่งและสอง เวฟฟรอนต์การเลี้ยวเบนดีขึ้นถึงประมาณ 83 nm PV

Travel X / Y / Z1200 / 1000 / 150mm
Positioning accuracy±0.1 μm (Z axis ±0.05 μm)
Max substrate size1060×940mm
Form accuracyPV ≤0.2μm
  • Security-printing gratings
  • Spectrometer gratings
  • AR waveguide lenses
  • Microlens arrays
  • Diffractive optical elements (DOE)
Full technical specifications
GPC12100H — technical specifications
ItemSpecification
X-axis travel1200 mm, linear-motor driven, positioning accuracy ±0.1 μm
Y-axis travel1000 mm, linear-motor driven, positioning accuracy ±0.1 μm
Z-axis travel150 mm, linear-motor driven, positioning accuracy ±0.05 μm
C axisContinuous rotation, torque motor, positioning accuracy ±0.5″
Max feed rateX/Y 5000mm/min、Z 2000mm/min、C 500°/min
Minimum command unitLinear axis 0.0001 mm (0.1 μm), rotary axis 0.0001°
Interpolation cycle1ms
FieldbusEtherCAT, 250 μs cycle
Control architectureIndustrial PC + Omron or Mitsubishi PLC + linear-motor drives, three-tier distributed
WorktableGrade 00 granite, flatness ≤2 μm/m, vacuum chuck 1060 x 940 mm
ToolingNatural single-crystal diamond arc-edge tool, edge radius ≤50 nm
Cooling and lubricationMQL oil-mist cooling plus thermostatted oil cooling for spindle and guides
EnclosureFully enclosed splash guard
OptionsThermostatted humidity-controlled enclosure (20±0.5 °C, 45%±5% RH); femtosecond/picosecond dual-mode laser unit

GPH1200Nเครื่องกลึงแท่งลูกกลิ้งความละเอียดสูงแบบนอน

GPH1200N 卧式辊雕超精密车床
เครื่องกลึงแกะสลักลูกกลิ้งแนวนอน (งานลูกกลิ้งยาว)

เครื่องเฉพาะทางสำหรับลูกกลิ้งที่มีอัตราส่วนยาวต่อเส้นผ่านศูนย์กลางสูง: ความยาวงาน 1200 มม. เส้นผ่านศูนย์กลาง Φ300 มม. น้ำหนักชิ้นงานถึง 1 ตัน ใช้กลึงผิวกระจกของลูกกลิ้งอิมพรินต์ микро-นาโน ลูกกลิ้งต้นแบบเกรตติง และลูกกลิ้งอิมพรินต์กันปลอม กลึงตลอดความยาวในการจับยึดครั้งเดียว จึงไม่มีรอยต่อจากดอกตัด

Working length1200mm
Working diameterΦ300mm
Workpiece weight≤1t
Surface roughnessRa ≤5nm
  • Imprint rollers
  • Grating master rollers
  • Security imprint rollers
  • High-aspect-ratio rollers

GP500Nเครื่องกลึงเพชรจุดเดียวความละเอียดสูงแบบนอน

GP500N 超精密卧式单点金刚石车床
เครื่องกลึงแนวนอนความแม่นยำสูง (แกน X/Z ฐานหินแกรนิตธรรมชาติ)

เครื่องกลึงนอนความละเอียดสูงสำหรับพื้นผิวระนาบและทรงกลมขนาดกลางถึงใหญ่ สูงสุด Φ320 มม. มอเตอร์เชิงเส้นขับตรง X/Z รางนำไฮโดรสแตติกหรือรางลม และสเกลนาโนแบบวงปิดเต็ม ทำให้การเบี้ยวศูนย์หน้าตัดและแนวรัศมีของสปินเดิล ≤15 nm

Max working diameterΦ320mm
Surface roughnessRa < 1nm
X / Z positioning accuracy≤0.1μm
Spindle runout≤15nm
  • Large-aperture flats
  • Spherical and aspheric
  • Infrared windows

GP15B100Hเครื่องกลึงนาโนความละเอียดสูงขนาดตั้งโต๊ะ

GP15B100H 桌面级超精密纳米车床
เครื่องกลึงตั้งโต๊ะความแม่นยำสูง GP15B

ตัวเครื่องขนาดตั้งโต๊ะ ความแม่นยำระดับห้องปฏิบัติการ ใช้พื้นที่น้อยกว่าโต๊ะทดลองหนึ่งตัว เหมาะกับการพัฒนาตัวอย่าง การตรวจสอบกระบวนการ และการกลึงระดับนาโนแบบล็อตเล็ก ข้อกำหนดด้านพื้นที่และสาธารณูปโภคต่ำ จึงติดตั้งในห้องปฏิบัติการมหาวิทยาลัยและสถาบันวิจัยได้รวดเร็ว

Machine formatBenchtop
Machining accuracyNanometer-level surface
Typical usePrototyping / process validation
  • Benchtop
  • Laboratory deployment
  • Prototyping

GP3500เครื่องกลึงแนวตั้งเฉพาะทางความละเอียดสูง CNC

แพลตฟอร์มกลึงหน้าตัดขนาดใหญ่ระดับ 3.5 เมตร โครงสร้างสปินเดิลตั้งแบบเดียวกับ GPD200N: สปินเดิลวางตั้ง ชิ้นงานหันหน้าขึ้น ครอบคลุมการกลึงหน้าตัดระดับนาโนของชิ้นออปติกขนาดใหญ่ ชิ้นส่วนหน้าตัดจอแสดงผล และแม่พิมพ์ขนาดใหญ่

Capacity3.5 m class diameter
StructureVertical face turning
Same-platform modelGPD200N (φ10–200 mm)
  • Large-diameter faces
  • Display panels
  • Large molds

02 · การเจียรนัยความละเอียดสูง

งานเจียรความละเอียดสูง

การเจียรนัยระนาบด้วยสปินเดิลตั้งและโต๊ะหมุน และการทำให้เวเฟอร์บาง สำหรับการเจียรนัยผิวกระจกของวัสดุแข็งเปราะและการทำให้ซับสเตรตสารกึ่งตัวนำบางลง

GM3207Bเครื่องเจียรนัยระนาบความละเอียดสูงแบบสปินเดิลตั้งและโต๊ะหมุน (เครื่องเจียรระบบลม)

GM3207B 超精密立轴转台平面研磨机(气浮磨床)
เครื่องเจียรระบบลม GM3207B ทั้งชุด

เครื่องเจียรนัยระนาบความละเอียดสูงแบบสปินเดิลตั้งและโต๊ะหมุน: การเบี้ยวหน้าตัดของโต๊ะ 0.000050 มม. ผิวเจียร Ra 0.05 μm ความแม่นยำการหมุนของโต๊ะ 0.05 μm (50 นาโนเมตร) เหมาะกับเจียรนัยผิวกระจกของวัสดุแข็งเปราะ เช่น เซรามิก แก้ว ไพลิน คาร์ไบด์ซีเมนต์ และซับสเตรตสารกึ่งตัวนำ ความเร็วโต๊ะแปรผันต่อเนื่อง 0.000001–30,000 รอบ/นาที รับน้ำหนัก 0.1–500 กก.

Max grinding sizeφ320–350mm
Rotational accuracy0.05μm(50nm)
Surface roughnessRa 0.05μm
Table axial runout0.000050mm
  • Hard and brittle materials
  • Ceramics / glass / sapphire
  • Semiconductor substrates
  • Mirror grinding
Full technical specifications
GM3207B — main technical specifications
ItemSpecification
Max grinding size (diameter x height)320~350mm
Worktable swing diameter320mm
Surface roughnessRa 0.05μm
Rotational accuracy0.05 μm (50 nm)
Parallelism of machined face to base0.01mm/500mm
Worktable spindle speed0.000001–30,000 r/min (stepless)
Turntable load0.1~500kg
Direct-drive motor power (Y55M-4)4 kW (three-phase induction)
Air pump pressure0.3–0.6 MPa (3-stage filtration)
Worktable feed rate (optional vertical mode)0.5 m/min (servo controlled)
Machine dimensions1200 (L) x 800 (W) x 760 (H) mm
Total weight500kg
Total power4kW
GM3207B — factory accuracy inspection record
ItemSpecification
Worktable flatness0.001 mm (concave only)
Worktable axial runout0.000050mm
Grinding-spindle axial play0.001mm
Grinding-spindle centering runout0.001mm
Parallelism of finished test piece to its base0.001 mm (test piece 100 ≤ d ≤ D/10, h ≥ 60; sapphire, unhardened)
GM3207B — operating environment
ItemSpecification
Power supply380V±10%、50Hz±3%
Total power4kW
Ambient temperature5~60℃
Ambient humidity30%~65%
Noise level≤30dB

GM3207B-ICชุดแต่งพิเศษสำหรับทำให้เวเฟอร์บาง (ปรับแต่งได้)

GM3207B-IC 晶圆减薄专用配置(可定制)
Wafer thinning on site

ต่อยอดจาก GM3207B ด้วยอินเทอร์เฟซคลีนรูมเฉพาะ IC ระบบน้ำหล่อเย็นแยก และการตรวจวัดระหว่างสายการผลิต สำหรับการทำให้ผิวด้านหลังของเวเฟอร์ขนาดไม่เกิน 12 นิ้วบางลง: เวเฟอร์บางได้ต่ำกว่า 100 μm โต๊ะ Φ320 ครอบคลุม 12 นิ้ว ผิว Ra 0.05 μm การเบี้ยวหน้าตัดของโต๊ะ 0.000050 มม.

Thinned thickness< 100μm
Table diameterφ320 (covers 12-inch)
Surface roughnessRa 0.05μm
Table axial runout0.000050mm
  • Wafer thinning
  • 12-inch compatible
  • Cleanroom interface
  • Dedicated coolant
Full technical specifications
GM3207B-IC — main technical specifications
ItemSpecification
Max grinding size (diameter x height)320~350mm
Worktable swing diameter320mm
Surface roughnessRa 0.05μm
Rotational accuracy0.05 μm (50 nm)
Parallelism of machined face to base0.01mm/500mm
Worktable spindle speed0.000001–30,000 r/min (stepless)
Turntable load0.1~500kg
Direct-drive motor power (Y55M-4)4 kW (three-phase induction)
Air pump pressure0.3–0.6 MPa (3-stage filtration)
Worktable feed rate (optional vertical mode)0.5 m/min (servo controlled)
Machine dimensions1200 (L) x 800 (W) x 760 (H) mm
Total weight500kg
Total power4kW

03 · เลเซอร์และลิโธกราฟี

เลเซอร์และลิโธกราฟี

การฉายแสงอิงเทอร์เฟอเรนซ์ DUV เขียนโครงสร้างคาบระดับนาโนเมตรได้โดยตรง — เส้นทางที่สองในการทำเกรตติงนอกเหนือจากการขีดด้วยกลไก

GPSZWBG-01Aระบบลิโธกราฟีอิงเทอร์เฟอเรนซ์ DUV แบบไม่มีมาสก์

GPSZWBG-01A 深紫外(DUV)无掩膜干涉曝光刻机
DUV interference lithography system on site

การอิงเทอร์เฟอเรนซ์หลายลำของเลเซอร์เอ็กไซเมอร์ ArF (193 นาโนเมตร) ฉายแถบคาบนาโนเมตรได้โดยตรงโดยไม่ต้องใช้โฟโตมาสก์แบบเดิม: ความกว้างเส้น ≤55 นาโนเมตร คาบเกรตติงเชิงเส้น ≤120 นาโนเมตร เวเฟอร์ 4 นิ้ว พื้นที่แพตเทิร์นที่มีผล ≥94 มม. ความสม่ำเสมอของความเข้ม ≤2% และความแม่นยำการจัดตำแหน่ง ≤0.8 ไมโครเมตร การเปลี่ยนแพตเทิร์นเพียงแก้เส้นทางแสงและฟาเซมาสก์ ไม่ต้องทำชุดมาสก์โครเมียมใหม่

Light sourceArF excimer, 193 nm
Wafer size4 inch
Feature linewidth≤55nm
Grating period≤120nm
  • Diffraction grating fabrication
  • Semiconductor processes
  • Research metrology
  • Phase masks
Full technical specifications
GPSZWBG-01A — technical specifications
ItemSpecification
1. Laser lithography main system
Light sourceArF excimer laser
Wafer size4 inch
Effective pattern area≥94mm
Intensity uniformity≤2%
Alignment accuracy≤0.8μm
Beam size≥110mm
Line-grating duty cycle25%~55%
Feature linewidth≤55nm
2. Standard process
Exposed linear grating period≤120nm
Effective pattern-area diameter≥95mm
3. High-precision phase mask
Phase-mask specification0.08 μm / 300 nm / 200 nm, three grades
4. Nanometer displacement measurement system
Sensor resolution≤4nm
Max working distance≥0.5m
Axes3 axes
Bandwidth≥1MHz
5. Optical fine-alignment stage
Coarse-stage resolution≤2μm
Repeatability≤2μm
Travel≥10mm
Interferometric grating resolution≤5nm

04 · ชิ้นส่วนหลัก

ชิ้นส่วนหลัก

สปินเดิล รางนำ และโต๊ะหมุนระบบลม: ความแม่นยำของเครื่องขึ้นอยู่กับชิ้นส่วนเหล่านี้ และจำหน่ายแยกด้วย ชิ้นส่วนทั้งหมดออกแบบและผลิตเอง ปรับแต่งได้ตามระยะเคลื่อนที่ รับน้ำหนัก ความเร็ว และระดับความแม่นยำ

ทำไมชิ้นส่วนที่พัฒนาขึ้นเองจึงสำคัญ

自研核心部件的意义
Air-bearing spindles and rotary tables set the accuracy of the whole machine

รูปทรงสุดท้ายของพื้นผิวที่กลึงด้วยเพชรถูกกำหนดด้วยความแม่นยำการหมุนของสปินเดิลและความตรงของรางนำ Guangbo Technology ผลิตสปินเดิลลม รางนำลม และโต๊ะหมุนลมทุกรายการเอง: เครื่องและชิ้นส่วนมาจากแหล่งเดียวกัน ห่วงโซ่ความแม่นยำไม่มีกล่องดำที่ซื้อมา และลูกค้าสามารถซื้อชิ้นส่วนแยกเพื่อทดแทนของนำเข้าได้

In-houseSpindles / guides / rotary tables
SupplyComplete machines and components sold separately
CustomizationTravel / load / speed / accuracy

สปินเดิลมอเตอร์แบบลม (6 ซีรีส์ / 7 รุ่น)

GP13364 / GP13364Cสปินเดิลลม (รองรับและขับด้วยลม)

GP13364 / GP13364C 气浮主轴(空气支撑 + 空气驱动)
GP13364 series air-bearing spindle (ER11 collet end)

สปินเดิลลมความเร็วสูงที่รองรับและขับด้วยลม: 0.1–120,000 รอบ/นาที การเบี้ยวแบบไดนามิกสูงสุด DRO 0.1 μm ที่ 300 รอบ/นาที ค่าเบี่ยงแนวรัศมีแบบซิงโครนัส <1 μm และแบบไม่ซิงโครนัส <0.25 μm พร้อมคอลเลต ER11 หาแกนเองได้ถึง 6.35 มม.

Speed range0.1–120,000rpm
Max dynamic runout0.1μm@300rpm
Synchronous radial deviation<1μm
Clamping diameter6.35mm(ER11)
Full technical specifications
Technical specifications
ParameterValue
ModelGP13364 / GP13364C
Drive typeAir-support + air-drive
Speed range0.1–120,000 rpm (encoder optional)
Max dynamic runout (DRO)0.1μm@300rpm
Synchronous radial deviation<1μm
Asynchronous radial deviation<0.25μm
Max clamping diameter6.35 mm (ER11 self-centering collet)
Air supply pressure0.4~0.6MPa
Air consumption90 nl/min static, 60 nl/min dynamic
Max axial impact force5kg
Collet torqueMax 0.3 kg
Speed sensorStandard
Weightapprox. 3.6 kg

GP6212-H10สปินเดิลมอเตอร์แบบลม (200,000 รอบ/นาที)

GP6212-H10 空气电主轴(200,000rpm)
GP6212-H10 high-speed air-bearing motor spindle

สปินเดิลมอเตอร์แบบลมความเร็วสูงสุด 200,000 รอบ/นาที วัดที่โรงงาน: ระยะฟรีแนวแกน 5 μm ค่าเบี่ยงสถิต ≤1 μm ค่าเบี่ยงไดนามิก ≤6 μm และอัตราการยึดของคอลเลต 99% ความแม่นยำทั้งสถิตและไดนามิกดีกว่าค่ากำหนด

Max speed200,000rpm
Static deviation≤1μm
Dynamic deviation≤6μm
Collet engagement rate99%
Full technical specifications
GP6212-H10 measured vs. rated values
ParameterMeasuredRated
Max speed200,000rpm—
Axial float5μm≤20μm
Static deviation≤1μm≤2μm
Dynamic deviation≤6μm<9μm
Collet torque≥620g≥600g
Collet engagement rate99%98~100%
Release air pressure3.2kg/cm²below 5
Clamping air pressure2.6kg/cm²≥3.0
Three-phase impedance2.3±0.1Ω2.3±0.2Ω
Insulation withstand voltage1500V≥1500V
Drive current3.6A3.6±0.1A

GPZ6220Hสปินเดิลมอเตอร์รองรับด้วยลมสมรรถนะสูง (300,000 รอบ/นาที)

GPZ6220H 高性能空气支撑电主轴(30 万转)
GPZ6220H high-speed air-bearing motor spindle

1–300,000 รอบ/นาที เจาะรู 0.05–6.35 มม. กำลังต่อเนื่อง 750 W ระบายความร้อนด้วยน้ำ 700 W เซนเซอร์ความเร็วแบบรีลัคแตนซ์/TTL เหมาะกับเจาะรูขนาดเล็กและการเจียรดอกตัดขนาดเล็ก

Speed range1–300,000rpm
Min hole diameter0.05mm
Output power750 W continuous
Max dynamic runout3μm@300,000rpm
Full technical specifications
Technical specifications
ParameterValue
Speed range1~300,000rpm
Min hole diameter0.05 mm (1/8 inch = 3.175 mm shank)
Max hole diameter6.35 mm (1/4 inch)
Bearing air supply pressure0.6MPa
Air consumption90 nl/min static, 60 nl/min dynamic
Max dynamic runout (DRO)3μm@300,000rpm
Max axial impact force20kg
Collet radial breakaway impact force7kg@300,000rpm
Motor output power750 W continuous
Input voltagemax 220 V
CoolingWater-cooled, 700 W heat dissipation, 1.4 l/min
Collet torqueMax 0.3 kg
Speed sensorReluctance / TTL
Weightapprox. 2.6 kg

GBH-248150BP / SFสปินเดิลลมรับน้ำหนักสูง

GBH-248150BP / SF 大承载气浮电主轴
GBH-248150 series high-load motor spindle

ความแม่นยำการหมุนทั้งแนวรัศมีและแนวแกน ≤0.05 μm กำลัง 0.5–6 kW รับน้ำหนักทั้งแนวรัศมีและแนวแกนเกิน 40 กก. (ปรับตามความต้องการได้) ระบายความร้อนด้วยลมหรือน้ำ เหมาะกับการเจียรนัยหนักและชิ้นออปติกขนาดใหญ่

Rotational accuracy≤0.05 μm (radial / axial)
Power options0.5–6kW
Load capacity>40 kg (customizable)
CoolingAir / water cooling
Full technical specifications
Technical specifications
ParameterValue
Standard modelsGBH-248150BP (inverter motor) / GBH-248150SF (servo motor)
Radial rotational accuracy≤0.05μm
Axial rotational accuracy≤0.05μm
Power options0.5~6kW
Speed1 / 3000 / 10,000 rpm steps
Radial load capacityover 40 kg (customizable)
Axial load capacityover 40 kg (customizable)
Air supply pressure0.4~0.6MPa
Cooling methodAir / water cooling

GPZ65I95Eสปินเดิลมอเตอร์ความเร็วสูง (φ65 x 195)

GPZ65I95E 高速电主轴(φ65×195)
GPZ65I95E high-speed motor spindle

800 W ที่ 220 V ปรับความเร็วต่อเนื่อง 0–24,000 รอบ/นาที คอลเลต ER11 สำหรับก้าน 1–7 มม. ตัวเครื่อง Ø65 มม. ยาว 195 มม. ส่วนคอลเลต 35 มม. น้ำหนักสุทธิ 2.8 กก. หล่อลื่นด้วยจาระบี ระบายความร้อนด้วยน้ำ ต้องใช้ร่วมกับอินเวอร์เตอร์

Power800W(220V)
Speed0–24,000rpm
ColletER11 / 1–7mm
Dimensionsφ65 × 195mm
Full technical specifications
Technical specifications
ParameterValue
ModelGPZ65I95E
Power800W(220V)
Current5A
Frequency400Hz(0~400)
SpeedStepless, 0–24,000 rpm
Cooling methodWater-cooled
ColletER11, tool shank 1–7 mm
LubricationGrease lubrication
Dimensionsφ65 mm, 195 mm long, collet section 35 mm
Net weight2.8kg
Operating requirementsRequires a VFD; do not connect directly to mains
WarrantyOne-year warranty

GPZ120135349H6สปินเดิลมอเตอร์เจาะ-กัดความเร็วสูง (สามขนาด)

GPZ120135349H6 高速钻铣电主轴(三款规格)
GPZ120135349H6 ultra-precision drilling/milling spindle motor

สปินเดิลมอเตอร์เจาะ-กัดความเร็วสูง สามขนาด 6.00 / 5.50 / 4.50 kW ทั้งหมด 380 V, 18,000 รอบ/นาที การเบี้ยว 0.1 μm ปลายสปินเดิล ER32 ป้องกัน IP54 ระบายความร้อนด้วยลม เปลี่ยนเครื่องมือด้วยมือ

Rated power6.00 / 5.50 / 4.50kW
Rated speed18,000 r/min
Rotational runout0.1μm
Spindle interfaceER32
Full technical specifications
GPZ120135349H6 — comparison of three ratings
Specification6.00-ER32F5.50-ER32TW4.50-ER32TF
Rated power6.00 kW5.50 kW4.50 kW
Runout accuracy0.1UM0.1UM0.1UM
Rated voltage380V380V380V
Rated frequency600Hz600Hz300Hz
Rated speed18000 r/min18000 r/min18000 r/min
Poles4P4P4P
Rated current12.60A12.20A9.50A
Rated torque3.18 N·m2.90 N·m2.38 N·m
Power factor0.810.810.81
Protection classIP54IP54IP54
Cooling methodAir-cooledAir-cooledAir-cooled
Tool changeManualManualManual
Spindle interfaceER32F (right-hand thread)ER32TW (optional)ER32TF (optional)
Nanometer air-bearing components — model selection
No.Size ID x OD x length (mm)Graphite OD (mm)Load (g)Support and driveRunout (μm)Max speed (rpm)
01Φ3×φ6×10Φ4.520Air-bearing + aerodynamic0.05260000
02Φ6×φ10×30Φ840Air-bearing + aerodynamic0.05220000
03φ9×φ20×40Φ1560Air-bearing + aerodynamic0.05180000
04Φ15×φ30×50Φ2090Air-bearing + aerodynamic0.05120000
05Φ20×φ35×70Φ25190Air-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.1120000
06Φ30×φ45×75Φ35320Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.1100000
07Φ35×φ55×80Φ42400Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.2100000
08φ45×φ65×120Φ50650Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.280000
09φ55×φ65×150Φ58950Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.280000
10φ65×φ95×180Φ753200Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.580000
11φ75×φ105×200Φ854000Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic0.570000

รางนำลมและสเตจความแม่นยำ

ซีรีส์ GPD-80 Dรางนำลม (เพลาทรงกระบอก + แคร่ลม)

GPD-80 D 系列 气浮导轨(圆柱轴 + 气浮滑座)
D-series air-bearing guide and slide

เพลาทรงกระบอกพร้อมแคร่ลม แบบแคร่เดียวหรือสองแคร่: ความแม่นยำการวางตำแหน่ง ≤0.1 μm ความแม่นยำการเคลื่อน ≤±0.2–0.5 μm ความแข็งเกร็ง 8 กก./μm ความเร่งสูงสุด 5G รับน้ำหนักแนวรัศมี 0.1–600 กก. ระยะชัก 500–2000 มม. (11 ระดับมาตรฐาน) ปรับแต่งได้ถึง 4000 มม.

Positioning accuracy≤0.1μm
Guide stiffness8kg/μm
Radial load capacity0.1–600kg
Max acceleration5G
Full technical specifications
D-series air-bearing guide — general specifications
ParameterValue
ModelGPD-80 type (coded by travel and slide OD, e.g. GP D50045G)
StructureCylindrical shaft + air-bearing slide (single or dual slide)
Air supply pressure0.4~0.6MPa
Positioning accuracy≤0.1μm
Displacement accuracy±0.2~0.5μm
Guide stiffness8kg/μm
Max acceleration5G
Radial load capacity0.1–600 kg (customizable)
Protection classIP40 / IP50
Operating temperature0~40℃
OrientationHorizontal or vertical
Service lifeOver 10 years
D-series air-bearing guide — selection table
No.Size ID x OD x length (mm)Slide ID (mm)Load (g)Slide OD (mm)Max speed (m/s)
1φ19×φ25×500φ19~φ252000φ39~φ4530
2φ29×φ35×700φ29~φ354000φ49~φ5525
3φ39×φ45×1000φ39~φ456000φ59~φ6520
4φ45×φ55×1200φ45~φ556500φ65~φ758
5φ49×φ55×1200φ49~φ559000φ69~φ7518
6φ55×φ65×1500φ55~φ659500φ75~φ856
7φ59×φ65×1500φ59~φ6519000φ79~φ8515
8φ65×φ75×1800φ65~φ7532000φ85~φ955
9φ69×φ75×1800φ69~φ7532000φ89~φ9512
10φ75×φ85×2000φ75~φ8540000φ95~φ1055
11φ79×φ85×2000φ79~φ8540000φ99~φ10510

GP-YN2020สเตจนาโนระยะชักสั้นระบบลมสองชั้น

GP-YN2020 双层气浮静压纳米级小行程滑台
GP-YN2020 dual-layer XY air-bearing stage

สเตจความแม่นยำระยะชักสั้นรองรับด้วยลมสองชั้น: การวางตำแหน่งวงปิด ±50 นาโนเมตร การทำซ้ำ ±20 นาโนเมตร ก้าวเล็กสุด 1 นาโนเมตร ความตรงและความราบเรียบของการเคลื่อนที่ ≤0.1 μm/25 มม. ช่องว่างลมไม่สัมผัส 8–15 μm พร้อมสเกลนาโนความละเอียด 0.1 นาโนเมตร / 1 นาโนเมตร

Positioning accuracy±50 nm (closed loop)
Repeatability±20nm
Min step1nm
Air gap8–15μm
Full technical specifications
GP-YN2020 dual-layer aerostatic stage — specifications
ParameterValue
ModelGP-YN2020 (dual-layer aerostatic nanometer short-travel stage)
TravelX/Y 200 x 200 mm (10–100 mm customizable)
Positioning accuracy±50 nm (closed loop)
Repeatability±20nm
Min step increment1nm
Motion straightness≤0.1μm/25mm
Flatness≤0.1μm/25mm
Max load (horizontal)5 kg (higher on request)
Max speed20mm/s
Air supply pressure0.45–0.6 MPa (dry clean air or N2)
Air gap8–15 μm (non-contact)
Feedback sensorNanometer grating scale, 0.1 nm or 1 nm resolution
Body materialAluminium alloy / Invar / ceramic (optional)
Operating temperature20±0.5℃
Cleanliness classISO Class 3 or better; vacuum-compatible version optional

Air-bearing rotary table

ABR standard seriesโต๊ะหมุนระบบลม (φ120–φ300)

ABR 标准系列 气浮转台(φ120–φ300)
ABR series air-bearing rotary table platter

ซีรีส์มาตรฐาน ABR ครอบคลุมโต๊ะหกขนาด φ120–φ300 มม. การเบี้ยวแนวแกน <0.1–0.3 μm แนวรัศมี <0.1–0.4 μm รับน้ำหนัก 300–2000 N พร้อมสเกลวงกลมแบ่งมุมเต็มวงดีกว่า ±1″ ขนาดเกิน φ300 มม. ผลิตตามสั่งได้ถึง φ1000 มม.

Table diameterφ120–φ300
Axial runout<0.1–0.3μm
Radial runout<0.1–0.4μm
Load capacity300–2000N
Full technical specifications
ABR standard series — selection table
ParameterABR-120MABR-150MABR-170MABR-200MABR-250MABR-300M
Platter diameter (mm)φ120φ150φ170φ200φ250φ300
Axial runout (μm)<0.1<0.1<0.18<0.15<0.25<0.3
Radial runout (μm)<0.1<0.2<0.3<0.3<0.4<0.4
Load (N)>300>400>500>1000>1500>2000

Large-diameter custom rotary tableโต๊ะหมุนระบบลมฐานโครงเหล็ก

Large-diameter custom rotary table with steel-frame base
Steel-frame large-diameter air-bearing rotary table

โต๊ะหมุนระบบลมขนาดใหญ่สำหรับชิ้นออปติกรูรับแสงใหญ่และแท่นตรวจวัดขนาดใหญ่: ฐานโครงเหล็กพร้อมการหมุนระบบลม ปรับเส้นผ่านศูนย์กลางโต๊ะและน้ำหนักรับตามขนาดชิ้นงาน วัสดุฐานเลือกได้ระหว่างโครงเหล็กหรือหินอ่อน (หินแกรนิต)

PlatterCustomizable up to φ1000 mm
BaseSteel frame / marble (optional)
IndexingFull-circle grating ±1″

05 · การวัดความแม่นยำ

เครื่องวัดความละเอียด

การวัดความกลม ความเป็นคลื่น ความร่วมศูนย์ และความราบเรียบระดับนาโนเมตร สำหรับการตรวจรับ出厂และการควบคุมกระบวนการแบบวงปิด

GP326Hเครื่องวัดความกลม (รองรับ GP316H / GP306H)

GP326H 圆度测量仪(兼容 GP316H / GP306H)
GP326H roundness measurement on site

ความแม่นยำสปินเดิล ±0.035 μm ความแม่นยำระบบ ≤0.05 μm ความละเอียดการวัด 0.01 μm เก็บข้อมูลได้ถึง 8192 จุดต่อรอบ วัดความกลม ความเป็นคลื่น ความร่วมศูนย์ ความร่วมแกน ความขนาน ความราบเรียบ ความตั้งฉาก ความเยื้องศูนย์ และการเบี้ยวได้ โต๊ะที่มีผล: GP326H 200 มม. / GP316H 256 มม. / GP306H 300 มม. ความสูงการวัด 450 มม.

Spindle accuracy±0.035μm
System accuracy≤0.05μm
Resolution0.01μm
Sampling8192 points/rev
Full technical specifications
GP326H roundness instrument — specifications
ItemGP326HGP316HGP306H
Measured quantitiesRoundness, waviness, concentricity, coaxiality, parallelism, flatness, squareness, eccentricity, runout (identical across the three models)
Spindle accuracy±0.035 μm (all three models)
System accuracy≤0.05 μm (all three models)
Spindle speed5 r/min (all three models)
Max table load40kg60kg60kg
Effective table diameter200mm256mm300mm
Min workpiece bore3 mm (all three models)
Measuring height450 mm (all three models)
Rotary worktablePrecision levelling and centring (all three models)
Sensor traversingJoystick-controlled motorized (all three models)
Measuring range±50 μm / ±100 μm / ±400 μm (all three models)
Measuring resolution0.01 μm (all three models)
Max sampling resolution8192 points/rev (all three models)
Digital filter bands2-15, 2-50, 2-150, 2-500, 15-150, 15-250 (all three models)
Magnification400 / 1000 / 2000 / 4000 / 10,000 / 20,000 / 40,000 / 80,000 / 100,000 (all three models)
Roundness evaluationLSC, MZC, MIC, MCC (all three models)
Other functionsHarmonic analysis, slope analysis, database archiving (all three models)
Extended functionsPartial-arc roundness, motor commutator roundness, wafer-to-wafer variation (all three models)
AccessoriesPrecision three-jaw chuck, partial-arc software, commutator software (all three models)
Working air pressure0.40–0.43 MPa (all three models)
Supply air pressure0.45–0.80 MPa (all three models)
Main unit dimensions800 x 500 x 1450 mm (all three models)
Main unit weightapprox. 220 kg (all three models)

06 · การ machining และการวัด

การ machining และการวัดในโรงงาน

การกลึงเพชรจุดเดียวในสายการผลิตและรายงานวัดรูปทรงที่สอดคล้อง: ชิ้นงานรูรับแสง 75 มม. วัดได้ PV 0.915 / 0.430 μm, RMS 0.078 μm ข้อมูลการวัดส่งมอบพร้อมเครื่องทุกเครื่อง และตรวจสอบย้อนกลับถึงชิ้นงานและพารามิเตอร์กระบวนการได้

单晶金刚石刀具车削工件实拍
Single-crystal diamond arc-edge tool turning a workpiece (edge radius ≤50 nm)
面形检测报告:口径 75mm,PV 0.915/0.430μm,RMS 0.078μm
Form-measurement report: 75 mm aperture, PV 0.915 / 0.430 μm, RMS 0.078 μm

ส่งชิ้นงานมาให้เรา — เราพิสูจน์ด้วยตัวอย่างก่อน แล้วจึงคุยเรื่องเครื่อง

ระบบความละเอียดสูงที่เหมาะกับคุณถูกกำหนดด้วยรูปทรงและความหยาบของชิ้นงาน ส่งตัวอย่าง → รายงานการวัด → เลือกรุ่นและอุปกรณ์จับยึด คือขั้นตอนมาตรฐานของเราสำหรับลูกค้าทุกราย ในพื้นที่สามเหลี่ยมปากแม่น้ำจูเจียงเราถึงหน้างานภายใน 24 ชั่วโมง ลูกค้าต่างประเทศร่วมตรวจรับทางไกลได้