Products & Specifications

Mỗi thiết bị đều có ảnh thực tế và thông số đầy đủ, trên cùng một trang

Trang này tập hợp các máy gia công siêu chính xác, hệ thống laser và quang khắc, linh kiện chủ chốt và thiết bị đo chính xác mà Guangbo Technology đang cung cấp. Mỗi kiểu máy đều có ảnh chụp thiết bị hoặc linh kiện, các chỉ tiêu chính và bảng thông số kỹ thuật xuất xưởng. Các giá trị lấy từ tài liệu kỹ thuật nội bộ; phụ lục hợp đồng có hiệu lực khi giao hàng.

01Tiện siêu chính xácGPZ100N / GPD200N / GPC12100H / GPH1200N / GP500N / GP15B / GP3500 02Mài siêu chính xácGM3207B / GM3207B-IC 03Laser và quang khắcGPSZWBG-01A phơi sáng giao thoa DUV 04Linh kiện cốt lõi7 trục chính khí nén / ray dẫn và bàn trượt khí nén / bàn quay khí nén 05Thiết bị đoGP326H máy đo độ tròn (tương thích GP316H / GP306H) 06Gia công và đo kiểm tại xưởngTiện kim cương trong sản xuất / báo cáo đo hình dạng

01 · Tiện siêu chính xác

Tiện siêu chính xác

Từ máy để bàn đến tiện mặt đầu cấp 3,5 mét, từ đế phẳng đến trục cán dài: tiện kim cương một điểm cắt bao phủ mọi loại bề mặt siêu chính xác, cả đối xứng tròn xoay và không tròn xoay.

GPZ100NMáy tiện kim cương một điểm cắt cỡ khẩu độ nhỏ

GPZ100N 小口径单点金刚石车床 — Máy hoàn chỉnh GPZ100N (tiện-phay-mài để bàn)

Máy tiện kim cương siêu chính xác cỡ để bàn, kết hợp tiện, phay và mài. Dành cho thấu kính hồng ngoại, gương quang học và khuôn chính xác φ80–100 mm: tiện gương, phay và mài hoàn tất trong một lần gá. Phù hợp phòng thí nghiệm và dây chuyền nhỏ.

Working diameter80–100mm

Surface roughnessRa ≤2nm

Form accuracyPV ≤0.02μm

Spindle speed1–100,000rpm

Infrared optics
Hàng không vũ trụ
Consumer electronics
Precision molds
Turn-mill-grind integrated

Full technical specifications

Working diameter	80~100mm
Surface roughness	Ra ≤ 2nm
Form accuracy	PV ≤ 0.02μm
Spindle speed	1~100000rpm

Ask about GPZ100N / Request a quote

GPD200NMáy tiện kim cương một điểm cắt trục chính đứng cho mặt đầu

GPD200N 立式端面单点金刚石车床 — Máy tiện mặt đầu đứng GPD200N

Trục chính đứng, chi tiết gá mặt đầu hướng lên, dùng để tiện mặt đầu và mặt cong cấp nanomet cho chi tiết mặt đầu và linh kiện chính xác φ10–200 mm. Bệ đá granite, thước nano vòng kín toàn phần, cách ly rung chủ động và điều nhiệt chính xác; chọn hai trục X/Z hoặc nội suy ba trục X/Z/B. Trục B cố định điểm cắt, giảm rõ rệt ảnh hưởng của sai số cung dao lên hình dạng — phù hợp mặt phi cầu dốc.

Max working diameterφ10–200mm

Radial / axial runout< 0.05μm

Surface roughnessRa < 10nm

Form accuracyPV < 0.3μm

Vertical face-turning integration
Three-axis fixed-point turning
Sub-nanometer dynamic accuracy
Cost 1/3–1/2 of imported equivalents

Full technical specifications

GPD200N vertical face-turning SPDT lathe — technical specifications
Parameter	Value
Max working diameter	φ10–200mm
Spindle rotational accuracy	Radial / axial runout < 0.05 μm
Surface roughness	Ra < 10nm
Form accuracy	PV < 0.3μm
Axis configuration	X/Z two axes or X/Z/B three axes
Machine configuration	Vertical face-turning structure, vertical spindle layout

Ask about GPD200N / Request a quote

GPC12100HMáy tiện kim cương mặt phẳng bốn trục · máy khắc cách tử nano

GPC12100H 平面四轴单点金刚石车床 · 纳米光栅刻划机 — Máy hoàn chỉnh GPC12100H (mã kiểu SPDT-4AX)

Động cơ tuyến tính dẫn động trực tiếp trên X/Y/Z và động cơ mô-men chia độ liên tục trên C tiện trực tiếp cách tử và mảng vi cấu trúc chu kỳ 140–180 μm, sâu rãnh 20–50 μm trên tấm niken 1060×940 mm. Bốn mươi lăm ô 20×20 mm được nối liền không khe bằng nội suy bốn trục để triệt tiêu sai số tích lũy, đạt gương cấp quang học chỉ trong một lượt, không cần đánh bóng sau; sau bù độ thẳng bậc một và bậc hai, mặt sóng nhiễu xạ cải thiện đến khoảng 83 nm PV.

Travel X / Y / Z1200 / 1000 / 150mm

Positioning accuracy±0.1 μm (Z axis ±0.05 μm)

Max substrate size1060×940mm

Form accuracyPV ≤0.2μm

Security-printing gratings
Spectrometer gratings
AR waveguide lenses
Microlens arrays
Diffractive optical elements (DOE)

Full technical specifications

GPC12100H — technical specifications
Item	Specification
X-axis travel	1200 mm, linear-motor driven, positioning accuracy ±0.1 μm
Y-axis travel	1000 mm, linear-motor driven, positioning accuracy ±0.1 μm
Z-axis travel	150 mm, linear-motor driven, positioning accuracy ±0.05 μm
C axis	Continuous rotation, torque motor, positioning accuracy ±0.5″
Max feed rate	X/Y 5000mm/min、Z 2000mm/min、C 500°/min
Minimum command unit	Linear axis 0.0001 mm (0.1 μm), rotary axis 0.0001°
Interpolation cycle	1ms
Fieldbus	EtherCAT, 250 μs cycle
Control architecture	Industrial PC + Omron or Mitsubishi PLC + linear-motor drives, three-tier distributed
Worktable	Grade 00 granite, flatness ≤2 μm/m, vacuum chuck 1060 x 940 mm
Tooling	Natural single-crystal diamond arc-edge tool, edge radius ≤50 nm
Cooling and lubrication	MQL oil-mist cooling plus thermostatted oil cooling for spindle and guides
Enclosure	Fully enclosed splash guard
Options	Thermostatted humidity-controlled enclosure (20±0.5 °C, 45%±5% RH); femtosecond/picosecond dual-mode laser unit

Ask about GPC12100H / Request a quote

GPH1200NMáy tiện khắc trục cán siêu chính xác kiểu nằm

GPH1200N 卧式辊雕超精密车床 — Máy tiện khắc trục ngang (gia công trục dài)

Máy chuyên dụng kiểu nằm cho trục cán có tỷ lệ dài/đường kính lớn: chiều dài gia công 1200 mm, đường kính Φ300 mm, chi tiết đến 1 tấn. Máy tiện gương trục cán in nano, trục cán gốc cách tử và trục cán in bảo an, hoàn tất trên toàn bộ chiều dài trong một lần gá nên không có vết nối dao.

Working length1200mm

Working diameterΦ300mm

Workpiece weight≤1t

Surface roughnessRa ≤5nm

Imprint rollers
Grating master rollers
Security imprint rollers
High-aspect-ratio rollers

Ask about GPH1200N / Request a quote

GP500NMáy tiện kim cương một điểm cắt siêu chính xác kiểu nằm

GP500N 超精密卧式单点金刚石车床 — Máy tiện ngang siêu chính xác (2 trục X/Z, đế granite tự nhiên)

Máy tiện nằm siêu chính xác cho mặt phẳng và mặt cầu đường kính vừa và lớn, tối đa Φ320 mm. Động cơ tuyến tính dẫn động trực tiếp X/Z, ray dẫn thủy tĩnh hoặc khí nén và thước nano vòng kín toàn phần giữ độ đảo mặt đầu và hướng kính của trục chính ≤15 nm.

Max working diameterΦ320mm

Surface roughnessRa < 1nm

X / Z positioning accuracy≤0.1μm

Spindle runout≤15nm

Large-aperture flats
Spherical and aspheric
Infrared windows

Ask about GP500N / Request a quote

GP15B100HMáy tiện nano siêu chính xác cỡ để bàn

GP15B100H 桌面级超精密纳米车床 — Máy tiện để bàn siêu chính xác GP15B

Kích thước để bàn, độ chính xác cấp phòng thí nghiệm. Máy chiếm chưa đến một bàn thí nghiệm, phù hợp phát triển mẫu, kiểm chứng công nghệ và tiện nano lô nhỏ; yêu cầu mặt bằng và hạ tầng thấp nên triển khai nhanh vào phòng thí nghiệm trường đại học, viện nghiên cứu.

Machine formatBenchtop

Machining accuracyNanometer-level surface

Typical usePrototyping / process validation

Benchtop
Laboratory deployment
Prototyping

Ask about GP15B100H / Request a quote

GP3500Máy tiện chuyên dụng trục đứng siêu chính xác CNC

Nền tảng tiện mặt đầu đường kính lớn cấp 3,5 mét, cùng kết cấu trục đứng như GPD200N: trục chính đứng, chi tiết mặt đầu hướng lên, bao phủ tiện mặt đầu cấp nanomet cho chi tiết quang học lớn, chi tiết mặt đầu panel hiển thị và khuôn lớn.

Capacity3.5 m class diameter

StructureVertical face turning

Same-platform modelGPD200N (φ10–200 mm)

Large-diameter faces
Display panels
Large molds

Ask about GP3500 / Request a quote

02 · Mài siêu chính xác

Mài siêu chính xác

Mài phẳng trục chính đứng và bàn quay, làm mỏng wafer: mài gương vật liệu cứng giòn và làm mỏng đế bán dẫn.

GM3207BMáy mài phẳng siêu chính xác trục đứng bàn quay (máy mài khí nén)

GM3207B 超精密立轴转台平面研磨机（气浮磨床） — Máy mài khí nén GM3207B, máy hoàn chỉnh

Máy mài phẳng siêu chính xác kết cấu trục đứng bàn quay: độ đảo mặt đầu bàn 0,000050 mm, bề mặt mài Ra 0,05 μm, độ chính xác quay của bàn 0,05 μm (50 nanomet). Dùng mài gương vật liệu cứng giòn — gốm, thủy tinh, sapphire, hợp kim cứng và đế bán dẫn — tốc độ bàn vô cấp 0,000001–30.000 vòng/phút, tải 0,1–500 kg.

Max grinding sizeφ320–350mm

Rotational accuracy0.05μm（50nm）

Surface roughnessRa 0.05μm

Table axial runout0.000050mm

Hard and brittle materials
Ceramics / glass / sapphire
Semiconductor substrates
Mirror grinding

Full technical specifications

GM3207B — main technical specifications
Item	Specification
Max grinding size (diameter x height)	320~350mm
Worktable swing diameter	320mm
Surface roughness	Ra 0.05μm
Rotational accuracy	0.05 μm (50 nm)
Parallelism of machined face to base	0.01mm/500mm
Worktable spindle speed	0.000001–30,000 r/min (stepless)
Turntable load	0.1~500kg
Direct-drive motor power (Y55M-4)	4 kW (three-phase induction)
Air pump pressure	0.3–0.6 MPa (3-stage filtration)
Worktable feed rate (optional vertical mode)	0.5 m/min (servo controlled)
Machine dimensions	1200 (L) x 800 (W) x 760 (H) mm
Total weight	500kg
Total power	4kW

GM3207B — factory accuracy inspection record
Item	Specification
Worktable flatness	0.001 mm (concave only)
Worktable axial runout	0.000050mm
Grinding-spindle axial play	0.001mm
Grinding-spindle centering runout	0.001mm
Parallelism of finished test piece to its base	0.001 mm (test piece 100 ≤ d ≤ D/10, h ≥ 60; sapphire, unhardened)

GM3207B — operating environment
Item	Specification
Power supply	380V±10%、50Hz±3%
Total power	4kW
Ambient temperature	5~60℃
Ambient humidity	30%~65%
Noise level	≤30dB

Ask about GM3207B / Request a quote

GM3207B-ICCấu hình chuyên dụng làm mỏng wafer (có thể tùy chỉnh)

GM3207B-IC 晶圆减薄专用配置（可定制） — Wafer thinning on site

Trên cơ sở GM3207B, bổ sung giao diện sạch chuyên cho IC, hệ dung dịch làm nguội riêng và đo kiểm trong dây chuyền, dùng làm mỏng mặt sau wafer đến 12 inch: wafer mỏng dưới 100 μm, bàn Φ320 phủ 12 inch, bề mặt Ra 0,05 μm, độ đảo mặt đầu bàn 0,000050 mm.

Thinned thickness< 100μm

Table diameterφ320 (covers 12-inch)

Surface roughnessRa 0.05μm

Table axial runout0.000050mm

Wafer thinning
12-inch compatible
Cleanroom interface
Dedicated coolant

Full technical specifications

GM3207B-IC — main technical specifications
Item	Specification
Max grinding size (diameter x height)	320~350mm
Worktable swing diameter	320mm
Surface roughness	Ra 0.05μm
Rotational accuracy	0.05 μm (50 nm)
Parallelism of machined face to base	0.01mm/500mm
Worktable spindle speed	0.000001–30,000 r/min (stepless)
Turntable load	0.1~500kg
Direct-drive motor power (Y55M-4)	4 kW (three-phase induction)
Air pump pressure	0.3–0.6 MPa (3-stage filtration)
Worktable feed rate (optional vertical mode)	0.5 m/min (servo controlled)
Machine dimensions	1200 (L) x 800 (W) x 760 (H) mm
Total weight	500kg
Total power	4kW

Ask about GM3207B-IC / Request a quote

03 · Laser và quang khắc

Laser và quang khắc

Phơi sáng giao thoa DUV ghi trực tiếp cấu trúc chu kỳ nanomet — con đường thứ hai để chế tạo cách tử, ngoài khắc cơ khí.

GPSZWBG-01AHệ quang khắc giao thoa DUV không cần mặt nạ

GPSZWBG-01A 深紫外（DUV）无掩膜干涉曝光刻机 — DUV interference lithography system on site

Giao thoa đa chùm của laser excimer ArF (193 nm) phơi sáng trực tiếp các vân chu kỳ nanomet, không cần mặt nạ quang học truyền thống: chiều rộng đường ≤55 nm, chu kỳ cách tử tuyến tính ≤120 nm, wafer 4 inch, diện tích họa văn hiệu dụng ≥94 mm, độ đồng đều cường độ ≤2 % và độ chính xác căn chỉnh ≤0,8 μm. Đổi họa văn chỉ cần thay đường quang và mặt nạ pha — không cần bộ mặt nạ crôm mới.

Light sourceArF excimer, 193 nm

Wafer size4 inch

Feature linewidth≤55nm

Grating period≤120nm

Diffraction grating fabrication
Semiconductor processes
Research metrology
Phase masks

Full technical specifications

GPSZWBG-01A — technical specifications
Item	Specification
1. Laser lithography main system
Light source	ArF excimer laser
Wafer size	4 inch
Effective pattern area	≥94mm
Intensity uniformity	≤2%
Alignment accuracy	≤0.8μm
Beam size	≥110mm
Line-grating duty cycle	25%~55%
Feature linewidth	≤55nm
2. Standard process
Exposed linear grating period	≤120nm
Effective pattern-area diameter	≥95mm
3. High-precision phase mask
Phase-mask specification	0.08 μm / 300 nm / 200 nm, three grades
4. Nanometer displacement measurement system
Sensor resolution	≤4nm
Max working distance	≥0.5m
Axes	3 axes
Bandwidth	≥1MHz
5. Optical fine-alignment stage
Coarse-stage resolution	≤2μm
Repeatability	≤2μm
Travel	≥10mm
Interferometric grating resolution	≤5nm

Ask about GPSZWBG-01A / Request a quote

04 · Linh kiện chủ chốt

Linh kiện cốt lõi

Trục chính, ray dẫn và bàn quay khí nén: độ chính xác của máy do các bộ phận này quyết định, và cũng được cung cấp riêng. Tất cả chi tiết đều tự nghiên cứu, tự chế tạo và có thể tùy chỉnh theo hành trình, tải trọng, tốc độ và cấp chính xác.

Vì sao linh kiện tự phát triển lại quan trọng

自研核心部件的意义 — Air-bearing spindles and rotary tables set the accuracy of the whole machine

Hình dạng cuối cùng của bề mặt tiện kim cương do độ chính xác quay của trục chính và độ thẳng của ray dẫn quyết định. Guangbo Technology tự chế tạo toàn bộ trục chính, ray dẫn và bàn quay khí nén: máy và linh kiện cùng một nguồn, chuỗi chính xác không có "hộp đen" mua ngoài, và khách hàng có thể mua linh kiện riêng để thay thế hàng nhập khẩu.

In-houseSpindles / guides / rotary tables

SupplyComplete machines and components sold separately

CustomizationTravel / load / speed / accuracy

Ask about our in-house components / Request a quote

Trục chính điện khí nén (6 dòng / 7 kiểu)

GP13364 / GP13364CTrục chính khí nén (đỡ bằng khí và dẫn động bằng khí)

GP13364 / GP13364C 气浮主轴（空气支撑 + 空气驱动） — GP13364 series air-bearing spindle (ER11 collet end)

Trục chính khí nén tốc độ cao, đỡ và dẫn động bằng khí: 0,1–120.000 vòng/phút, độ đảo động lớn nhất DRO 0,1 μm tại 300 vòng/phút, lệch hướng kính đồng bộ <1 μm và không đồng bộ <0,25 μm, đầu kẹp ER11 tự định tâm đến 6,35 mm.

Speed range0.1–120,000rpm

Max dynamic runout0.1μm@300rpm

Synchronous radial deviation<1μm

Clamping diameter6.35mm（ER11）

Full technical specifications

Technical specifications
Parameter	Value
Model	GP13364 / GP13364C
Drive type	Air-support + air-drive
Speed range	0.1–120,000 rpm (encoder optional)
Max dynamic runout (DRO)	0.1μm@300rpm
Synchronous radial deviation	<1μm
Asynchronous radial deviation	<0.25μm
Max clamping diameter	6.35 mm (ER11 self-centering collet)
Air supply pressure	0.4~0.6MPa
Air consumption	90 nl/min static, 60 nl/min dynamic
Max axial impact force	5kg
Collet torque	Max 0.3 kg
Speed sensor	Standard
Weight	approx. 3.6 kg

Ask about GP13364 / GP13364C / Request a quote

GP6212-H10Trục chính điện khí nén (200.000 vòng/phút)

GP6212-H10 空气电主轴（200,000rpm） — GP6212-H10 high-speed air-bearing motor spindle

Trục chính điện khí nén tối đa 200.000 vòng/phút. Đo tại xưởng: hành trình tự do dọc trục 5 μm, lệch tĩnh ≤1 μm, lệch động ≤6 μm và tỷ lệ ăn khớp đầu kẹp 99 % — độ chính xác tĩnh và động đều tốt hơn giá trị danh định.

Max speed200,000rpm

Static deviation≤1μm

Dynamic deviation≤6μm

Collet engagement rate99%

Full technical specifications

GP6212-H10 measured vs. rated values
Parameter	Measured	Rated
Max speed	200,000rpm	—
Axial float	5μm	≤20μm
Static deviation	≤1μm	≤2μm
Dynamic deviation	≤6μm	<9μm
Collet torque	≥620g	≥600g
Collet engagement rate	99%	98~100%
Release air pressure	3.2kg/cm²	below 5
Clamping air pressure	2.6kg/cm²	≥3.0
Three-phase impedance	2.3±0.1Ω	2.3±0.2Ω
Insulation withstand voltage	1500V	≥1500V
Drive current	3.6A	3.6±0.1A

Ask about GP6212-H10 / Request a quote

GPZ6220HTrục chính điện đỡ khí hiệu suất cao (300.000 vòng/phút)

GPZ6220H 高性能空气支撑电主轴（30 万转） — GPZ6220H high-speed air-bearing motor spindle

1–300.000 vòng/phút, khoan 0,05–6,35 mm; công suất liên tục 750 W, tản nhiệt bằng nước 700 W, cảm biến tốc độ từ trở/TTL — dùng khoan lỗ siêu nhỏ và mài dụng cụ nhỏ.

Speed range1–300,000rpm

Min hole diameter0.05mm

Output power750 W continuous

Max dynamic runout3μm@300,000rpm

Full technical specifications

Technical specifications
Parameter	Value
Speed range	1~300,000rpm
Min hole diameter	0.05 mm (1/8 inch = 3.175 mm shank)
Max hole diameter	6.35 mm (1/4 inch)
Bearing air supply pressure	0.6MPa
Air consumption	90 nl/min static, 60 nl/min dynamic
Max dynamic runout (DRO)	3μm@300,000rpm
Max axial impact force	20kg
Collet radial breakaway impact force	7kg@300,000rpm
Motor output power	750 W continuous
Input voltage	max 220 V
Cooling	Water-cooled, 700 W heat dissipation, 1.4 l/min
Collet torque	Max 0.3 kg
Speed sensor	Reluctance / TTL
Weight	approx. 2.6 kg

Ask about GPZ6220H / Request a quote

GBH-248150BP / SFTrục chính khí nén tải trọng cao

GBH-248150BP / SF 大承载气浮电主轴 — GBH-248150 series high-load motor spindle

Độ chính xác quay hướng kính và dọc trục đều ≤0,05 μm, công suất 0,5–6 kW, khả năng chịu tải hướng kính và dọc trục đều trên 40 kg (tùy chỉnh theo yêu cầu), làm mát bằng khí hoặc nước — phù hợp mài chính xác tải nặng và chi tiết quang học lớn.

Rotational accuracy≤0.05 μm (radial / axial)

Power options0.5–6kW

Load capacity>40 kg (customizable)

CoolingAir / water cooling

Full technical specifications

Technical specifications
Parameter	Value
Standard models	GBH-248150BP (inverter motor) / GBH-248150SF (servo motor)
Radial rotational accuracy	≤0.05μm
Axial rotational accuracy	≤0.05μm
Power options	0.5~6kW
Speed	1 / 3000 / 10,000 rpm steps
Radial load capacity	over 40 kg (customizable)
Axial load capacity	over 40 kg (customizable)
Air supply pressure	0.4~0.6MPa
Cooling method	Air / water cooling

Ask about GBH-248150BP / SF / Request a quote

GPZ65I95ETrục chính điện tốc độ cao (φ65 x 195)

GPZ65I95E 高速电主轴（φ65×195） — GPZ65I95E high-speed motor spindle

800 W tại 220 V, vô cấp 0–24.000 vòng/phút, đầu kẹp ER11 cho chuôi 1–7 mm, thân Ø65 mm dài 195 mm, phần đầu kẹp 35 mm, khối lượng tịnh 2,8 kg. Bôi trơn mỡ, làm mát bằng nước; cần dùng kèm biến tần.

Power800W（220V）

Speed0–24,000rpm

ColletER11 / 1–7mm

Dimensionsφ65 × 195mm

Full technical specifications

Technical specifications
Parameter	Value
Model	GPZ65I95E
Power	800W（220V）
Current	5A
Frequency	400Hz（0~400）
Speed	Stepless, 0–24,000 rpm
Cooling method	Water-cooled
Collet	ER11, tool shank 1–7 mm
Lubrication	Grease lubrication
Dimensions	φ65 mm, 195 mm long, collet section 35 mm
Net weight	2.8kg
Operating requirements	Requires a VFD; do not connect directly to mains
Warranty	One-year warranty

Ask about GPZ65I95E / Request a quote

GPZ120135349H6Trục chính điện khoan-phay tốc độ cao (ba mức công suất)

GPZ120135349H6 高速钻铣电主轴（三款规格） — GPZ120135349H6 ultra-precision drilling/milling spindle motor

Trục chính điện khoan-phay tốc độ cao, ba mức 6,00 / 5,50 / 4,50 kW, đều 380 V, 18.000 vòng/phút, độ đảo 0,1 μm, đầu trục ER32, bảo vệ IP54, làm mát bằng khí, thay dao thủ công.

Rated power6.00 / 5.50 / 4.50kW

Rated speed18,000 r/min

Rotational runout0.1μm

Spindle interfaceER32

Full technical specifications

GPZ120135349H6 — comparison of three ratings
Specification	6.00-ER32F	5.50-ER32TW	4.50-ER32TF
Rated power	6.00 kW	5.50 kW	4.50 kW
Runout accuracy	0.1UM	0.1UM	0.1UM
Rated voltage	380V	380V	380V
Rated frequency	600Hz	600Hz	300Hz
Rated speed	18000 r/min	18000 r/min	18000 r/min
Poles	4P	4P	4P
Rated current	12.60A	12.20A	9.50A
Rated torque	3.18 N·m	2.90 N·m	2.38 N·m
Power factor	0.81	0.81	0.81
Protection class	IP54	IP54	IP54
Cooling method	Air-cooled	Air-cooled	Air-cooled
Tool change	Manual	Manual	Manual
Spindle interface	ER32F (right-hand thread)	ER32TW (optional)	ER32TF (optional)

Nanometer air-bearing components — model selection
No.	Size ID x OD x length (mm)	Graphite OD (mm)	Load (g)	Support and drive	Runout (μm)	Max speed (rpm)
01	Φ3×φ6×10	Φ4.5	20	Air-bearing + aerodynamic	0.05	260000
02	Φ6×φ10×30	Φ8	40	Air-bearing + aerodynamic	0.05	220000
03	φ9×φ20×40	Φ15	60	Air-bearing + aerodynamic	0.05	180000
04	Φ15×φ30×50	Φ20	90	Air-bearing + aerodynamic	0.05	120000
05	Φ20×φ35×70	Φ25	190	Air-bearing + aerodynamic + electromagnetic	0.1	120000
06	Φ30×φ45×75	Φ35	320	Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic	0.1	100000
07	Φ35×φ55×80	Φ42	400	Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic	0.2	100000
08	φ45×φ65×120	Φ50	650	Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic	0.2	80000
09	φ55×φ65×150	Φ58	950	Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic	0.2	80000
10	φ65×φ95×180	Φ75	3200	Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic	0.5	80000
11	φ75×φ105×200	Φ85	4000	Air-bearing + oil-bearing + aerodynamic + electromagnetic	0.5	70000

Ask about GPZ120135349H6 / Request a quote

Ray dẫn khí nén và bàn trượt chính xác

Dòng GPD-80 DRay dẫn khí nén (trục trụ + đế trượt khí nén)

GPD-80 D 系列气浮导轨（圆柱轴 + 气浮滑座） — D-series air-bearing guide and slide

Trục trụ với đế trượt khí nén, cấu hình một hoặc hai đế trượt: độ chính xác định vị ≤0,1 μm, độ chính xác dịch chuyển ±0,2–0,5 μm, độ cứng 8 kg/μm, gia tốc lớn nhất 5G, tải hướng kính 0,1–600 kg, hành trình 500–2000 mm theo 11 cấp tiêu chuẩn, tùy chỉnh đến 4000 mm.

Positioning accuracy≤0.1μm

Guide stiffness8kg/μm

Radial load capacity0.1–600kg

Max acceleration5G

Full technical specifications

D-series air-bearing guide — general specifications
Parameter	Value
Model	GPD-80 type (coded by travel and slide OD, e.g. GP D50045G)
Structure	Cylindrical shaft + air-bearing slide (single or dual slide)
Air supply pressure	0.4~0.6MPa
Positioning accuracy	≤0.1μm
Displacement accuracy	±0.2~0.5μm
Guide stiffness	8kg/μm
Max acceleration	5G
Radial load capacity	0.1–600 kg (customizable)
Protection class	IP40 / IP50
Operating temperature	0~40℃
Orientation	Horizontal or vertical
Service life	Over 10 years

D-series air-bearing guide — selection table
No.	Size ID x OD x length (mm)	Slide ID (mm)	Load (g)	Slide OD (mm)	Max speed (m/s)
1	φ19×φ25×500	φ19~φ25	2000	φ39~φ45	30
2	φ29×φ35×700	φ29~φ35	4000	φ49~φ55	25
3	φ39×φ45×1000	φ39~φ45	6000	φ59~φ65	20
4	φ45×φ55×1200	φ45~φ55	6500	φ65~φ75	8
5	φ49×φ55×1200	φ49~φ55	9000	φ69~φ75	18
6	φ55×φ65×1500	φ55~φ65	9500	φ75~φ85	6
7	φ59×φ65×1500	φ59~φ65	19000	φ79~φ85	15
8	φ65×φ75×1800	φ65~φ75	32000	φ85~φ95	5
9	φ69×φ75×1800	φ69~φ75	32000	φ89~φ95	12
10	φ75×φ85×2000	φ75~φ85	40000	φ95~φ105	5
11	φ79×φ85×2000	φ79~φ85	40000	φ99~φ105	10

Ask about the GPD-80 D series / Request a quote

GP-YN2020Bàn trượt nano hành trình ngắn đỡ khí hai lớp

GP-YN2020 双层气浮静压纳米级小行程滑台 — GP-YN2020 dual-layer XY air-bearing stage

Bàn trượt chính xác hành trình ngắn đỡ khí hai lớp: định vị vòng kín ±50 nm, độ lặp lại ±20 nm, bước nhỏ nhất 1 nm, độ thẳng và độ phẳng chuyển động ≤0,1 μm/25 mm, khe khí không tiếp xúc 8–15 μm, kèm thước nano độ phân giải 0,1 nm / 1 nm.

Positioning accuracy±50 nm (closed loop)

Repeatability±20nm

Min step1nm

Air gap8–15μm

Full technical specifications

GP-YN2020 dual-layer aerostatic stage — specifications
Parameter	Value
Model	GP-YN2020 (dual-layer aerostatic nanometer short-travel stage)
Travel	X/Y 200 x 200 mm (10–100 mm customizable)
Positioning accuracy	±50 nm (closed loop)
Repeatability	±20nm
Min step increment	1nm
Motion straightness	≤0.1μm/25mm
Flatness	≤0.1μm/25mm
Max load (horizontal)	5 kg (higher on request)
Max speed	20mm/s
Air supply pressure	0.45–0.6 MPa (dry clean air or N2)
Air gap	8–15 μm (non-contact)
Feedback sensor	Nanometer grating scale, 0.1 nm or 1 nm resolution
Body material	Aluminium alloy / Invar / ceramic (optional)
Operating temperature	20±0.5℃
Cleanliness class	ISO Class 3 or better; vacuum-compatible version optional

Ask about GP-YN2020 / Request a quote

Air-bearing rotary table

ABR standard seriesBàn quay khí nén (φ120–φ300)

ABR 标准系列气浮转台（φ120–φ300） — ABR series air-bearing rotary table platter

Dòng chuẩn ABR gồm sáu cỡ mặt bàn từ φ120 đến φ300 mm, độ đảo dọc trục <0,1–0,3 μm, độ đảo hướng kính <0,1–0,4 μm, tải 300–2000 N, chia độ toàn vòng bằng thước tròn tốt hơn ±1″. Trên φ300 mm, bàn được chế tạo theo yêu cầu đến φ1000 mm.

Table diameterφ120–φ300

Axial runout<0.1–0.3μm

Radial runout<0.1–0.4μm

Load capacity300–2000N

Full technical specifications

ABR standard series — selection table
Parameter	ABR-120M	ABR-150M	ABR-170M	ABR-200M	ABR-250M	ABR-300M
Platter diameter (mm)	φ120	φ150	φ170	φ200	φ250	φ300
Axial runout (μm)	＜0.1	＜0.1	＜0.18	＜0.15	＜0.25	＜0.3
Radial runout (μm)	＜0.1	＜0.2	＜0.3	＜0.3	＜0.4	＜0.4
Load (N)	＞300	＞400	＞500	＞1000	＞1500	＞2000

Ask about the ABR standard series / Request a quote

Large-diameter custom rotary tableBàn quay khí nén bệ khung thép

Large-diameter custom rotary table with steel-frame base — Steel-frame large-diameter air-bearing rotary table

Bàn quay khí nén đường kính lớn cho chi tiết quang học khẩu độ lớn và nền đo kiểm lớn: khung thép và kết cấu quay khí nén, đường kính bàn và tải trọng tùy chỉnh theo kích thước chi tiết; vật liệu đế tùy chọn khung thép hoặc đá cẩm thạch (granite).

PlatterCustomizable up to φ1000 mm

BaseSteel frame / marble (optional)

IndexingFull-circle grating ±1″

Ask about custom large rotary tables / Request a quote

05 · Đo lường chính xác

Thiết bị đo

Đo độ tròn, độ gợn sóng, độ đồng tâm và độ phẳng ở cấp nanomet cho nghiệm thu xuất xưởng và điều khiển quá trình vòng kín.

GP326HMáy đo độ tròn (tương thích GP316H / GP306H)

GP326H 圆度测量仪（兼容 GP316H / GP306H） — GP326H roundness measurement on site

Độ chính xác trục chính ±0,035 μm, độ chính xác hệ thống ≤0,05 μm, độ phân giải 0,01 μm, lấy mẫu tới 8192 điểm/vòng. Máy đo độ tròn, độ gợn sóng, độ đồng tâm, độ đồng trục, độ song song, độ phẳng, độ vuông góc, độ lệch tâm và độ đảo; đường kính bàn hiệu dụng 200 mm (GP326H), 256 mm (GP316H), 300 mm (GP306H), chiều cao đo 450 mm.

Spindle accuracy±0.035μm

System accuracy≤0.05μm

Resolution0.01μm

Sampling8192 points/rev

Full technical specifications

GP326H roundness instrument — specifications
Item	GP326H	GP316H	GP306H
Measured quantities	Roundness, waviness, concentricity, coaxiality, parallelism, flatness, squareness, eccentricity, runout (identical across the three models)
Spindle accuracy	±0.035 μm (all three models)
System accuracy	≤0.05 μm (all three models)
Spindle speed	5 r/min (all three models)
Max table load	40kg	60kg	60kg
Effective table diameter	200mm	256mm	300mm
Min workpiece bore	3 mm (all three models)
Measuring height	450 mm (all three models)
Rotary worktable	Precision levelling and centring (all three models)
Sensor traversing	Joystick-controlled motorized (all three models)
Measuring range	±50 μm / ±100 μm / ±400 μm (all three models)
Measuring resolution	0.01 μm (all three models)
Max sampling resolution	8192 points/rev (all three models)
Digital filter bands	2-15, 2-50, 2-150, 2-500, 15-150, 15-250 (all three models)
Magnification	400 / 1000 / 2000 / 4000 / 10,000 / 20,000 / 40,000 / 80,000 / 100,000 (all three models)
Roundness evaluation	LSC, MZC, MIC, MCC (all three models)
Other functions	Harmonic analysis, slope analysis, database archiving (all three models)
Extended functions	Partial-arc roundness, motor commutator roundness, wafer-to-wafer variation (all three models)
Accessories	Precision three-jaw chuck, partial-arc software, commutator software (all three models)
Working air pressure	0.40–0.43 MPa (all three models)
Supply air pressure	0.45–0.80 MPa (all three models)
Main unit dimensions	800 x 500 x 1450 mm (all three models)
Main unit weight	approx. 220 kg (all three models)

Ask about GP326H / Request a quote

06 · Gia công và đo kiểm

Gia công và đo kiểm tại xưởng

Tiện kim cương một điểm cắt trong sản xuất và báo cáo đo hình dạng tương ứng: chi tiết khẩu độ 75 mm đo được PV 0,915 / 0,430 μm, RMS 0,078 μm. Dữ liệu đo được giao kèm mỗi máy và truy xuất được đến chi tiết cùng thông số quá trình.

单晶金刚石刀具车削工件实拍 — Single-crystal diamond arc-edge tool turning a workpiece (edge radius ≤50 nm)

面形检测报告：口径 75mm，PV 0.915/0.430μm，RMS 0.078μm — Form-measurement report: 75 mm aperture, PV 0.915 / 0.430 μm, RMS 0.078 μm

Hãy gửi chi tiết của bạn — chúng tôi chứng minh bằng mẫu thử trước, rồi mới bàn đến máy

Hệ siêu chính xác phù hợp do hình dạng và độ nhám của chi tiết quyết định. Mẫu thử → báo cáo đo → chọn kiểu máy và đồ gá: đó là quy trình chuẩn của chúng tôi với mọi khách hàng. Trong đồng bằng sông Châu Giang chúng tôi có mặt trong 24 giờ; khách nước ngoài có thể tham gia nghiệm thu từ xa.

Yêu cầu gia công mẫu Về trang chủ